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Paramétrages

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1. WO2007144982 - APPAREIL ET PROCÉDÉ DE COLLAGE ET DE RETENUE

Numéro de publication WO/2007/144982
Date de publication 21.12.2007
N° de la demande internationale PCT/JP2007/000621
Date du dépôt international 12.06.2007
CIB
H01L 21/683 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683pour le maintien ou la préhension
B25J 15/06 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15Têtes de préhension
06avec moyens de retenue magnétiques ou fonctionnant par succion
B65G 49/06 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
GDISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
06pour des feuilles fragiles, p.ex. en verre
CPC
B32B 2309/68
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2309Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
60In a particular environment
68Vacuum
B32B 2310/024
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2310Treatment by energy or chemical effects
021using electrical effects
024Peltier effect
B32B 2457/202
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2457Electrical equipment
20Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
202LCD, i.e. liquid crystal displays
B32B 2457/206
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
2457Electrical equipment
20Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
206Organic displays, e.g. OLED
B32B 38/18
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
38Ancillary operations in connection with laminating processes
18Handling of layers or the laminate
B32B 38/1858
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
32LAYERED PRODUCTS
BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
38Ancillary operations in connection with laminating processes
18Handling of layers or the laminate
1858using vacuum
Déposants
  • 芝浦メカトロニクス株式会社 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 〒2478610 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号 Kanagawa 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-Ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610, JP (AllExceptUS)
  • 横田典之 YOKOTA, Noriyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 横田典之 YOKOTA, Noriyuki; JP
Mandataires
  • 木内光春 KIUCHI, Mitsuharu; 〒1050003 東京都港区西新橋1丁目6番13号虎ノ門吉荒ビルディング5階 Tokyo 5th Floor, Toranomon-Yoshiara Bldg. 6-13, Nishi-Shinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
Données relatives à la priorité
2006-16393813.06.2006JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) STICKING AND HOLDING APPARATUS AND STICKING AND HOLDING METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE COLLAGE ET DE RETENUE
(JA) 吸着保持装置及び吸着保持方法
Abrégé
(EN)
Provided are a sticking and holding apparatus and a sticking and holding method by which a substrate can be surely stuck and held irrespective of the type of the substrate by a simple and low-cost structure. The apparatus is provided with a sticking plate (2) having a sticking surface (21); a lifting mechanism for changing relative positions of a glass substrate (P1) and the sticking plate (2); a temperature changing section (5) for changing the temperature of the sticking surface (21); and a control apparatus (100) for controlling the temperature changing section (5) to bedew the sticking surface (21) at the time of having the sticking surface (21) stick the glass substrate (P1). The sticking surface (21) is cooled to a dew-point temperature or below, the glass substrate (P1) is stuck by water brought by dew condensation, and the substrate is bonded on a facing substrate (P2).
(FR)
La présente invention concerne un appareil et un procédé de collage et de retenue qui permettent de coller de manière sûre un substrat et de le retenir, quel que soit le type du substrat, à l'aide d'une structure simple et à bas coût. L'appareil comprend : une plaque de collage (2) dotée d'une surface de collage (21) ; un mécanisme de levage destiné à changer les positions relatives d'un substrat en verre (P1) et de la plaque de collage (2) ; une section de modification de la température (5) destinée à changer la température de la surface de collage (21) ; et un appareil de commande (100) destiné à commander la section de modification de température (5) afin de couvrir de rosée la surface de collage (21) au moment où la surface de collage (21) colle le substrat en verre (P1). La surface de collage (21) est refroidie à une température de point de rosée ou en dessous, le substrat en verre (P1) est collé par l'eau apparue lors de la condensation de la rosée, puis le substrat est lié à un substrat lui faisant face (P2).
(JA)
not available
Également publié en tant que
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