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1. (WO2007144566) UNITÉ OPTIQUE DESTINÉE AU MICRO-USINAGE AU LASER AVEC GALET SUPPORTÉ PAR UN FLUIDE ET MOYEN DESTINÉ À DÉCALER L'OPTIQUE LASER PAR RAPPORT À L'AXE DU GALET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/144566    N° de la demande internationale :    PCT/GB2007/001956
Date de publication : 21.12.2007 Date de dépôt international : 25.05.2007
CIB :
B23K 26/04 (2006.01), B23K 26/08 (2006.01), B23K 26/42 (2006.01), B23K 26/14 (2006.01), B60V 1/02 (2006.01)
Déposants : OERLIKON BALZERS COATING (UK) LIMITED [GB/GB]; Bradbourne Drive, Tilbrook, Milton Keynes MK7 8AZ (GB) (Tous Sauf US).
HARMAN, Mark [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : HARMAN, Mark; (GB)
Mandataire : ROCK, Olaf, Colin; Rock & Company, Trelawn, The Green, Cassington, Witney OX29 4DN (GB)
Données relatives à la priorité :
0611546.3 12.06.2006 GB
Titre (EN) OPTICS TJNIT FOR LASER MICRO-MACHINING WITH FLUID SUPPORTED PUCK AND MEANS FOR OFF-SETTING THE LASER OPTICS WITH RESPECT TO THE AXIS OF THE PUCK
(FR) UNITÉ OPTIQUE DESTINÉE AU MICRO-USINAGE AU LASER AVEC GALET SUPPORTÉ PAR UN FLUIDE ET MOYEN DESTINÉ À DÉCALER L'OPTIQUE LASER PAR RAPPORT À L'AXE DU GALET
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a laser optics unit comprising: an optics head (12) with an imaging or focussing lens and lens control means adapted to provide a laser beam (14) giving an image of a mask or a focus (13) of a beam along an axis of the beam (14) at a datum point in the unit; a work station (W) adapted to position a substrate work piece (15) relative to the datum point so as to provide for the positioning of the mask image or beam focus (13) along the axis of the beam (14) perpendicular to the substrate work piece (15) positioned by the work station (W); the work station (W) being further adapted to displace the work piece (15) in a given direction (X, Y) transverse the axis of the beam (14); a puck (11) and means for providing for the puck to be fluid supported over a puck region on a substrate work piece (15) on the work station (W); and means linking the puck (11) to the optics head to enable the puck (15) to displace the optics head (12) relative to the axis direction (X, Y), and off-setting means (D) whereby the puck (11), and so the puck region, at least when the puck (11) is fluid supported, is offset from the axis of the laser beam (14) in a direction perpendicular to the axis of beam ( 14 ).
(FR)La présente invention concerne une unité optique laser comprenant: - une tête optique (12) avec une lentille d'imagerie ou une lentille de focalisation et un moyen de commande de lentille apte à fournir un faisceau laser (14) donnant une image d'un masque ou un foyer (13) d'un faisceau, le long d'un axe du faisceau (14), à un point de référence dans l'unité ; - une station de travail (W) apte à positionner une pièce de substrat à travailler (15) par rapport au point de référence de sorte à fournir le positionnement de l'image de masque ou du foyer de faisceau (13) le long de l'axe du faisceau (14), perpendiculairement à la pièce de substrat à travailler (15) positionnée par la station de travail (W); la station de travail (W) étant en outre apte à déplacer la pièce à travailler (15) dans une direction donnée (X, Y) transversale par rapport à l'axe du faisceau (14); - un galet (11) et un moyen destiné à faire en sorte que le galet soit supporté par un fluide, au-dessus d'une région du galet, sur une pièce de substrat à travailler (15) sur la station de travail (W); et - un moyen reliant le galet (11) à la tête optique afin de permettre au galet (15) de déplacer la tête optique (12) par rapport à l'axe de direction (X, Y), et - un moyen de décalage (D), où le galet (11), et ainsi la région du galet, au moins lorsque le galet (11) est supporté par un fluide, est décalé à partir de l'axe du faisceau laser (14) dans une direction perpendiculaire à l'axe du faisceau (14).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)