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1. (WO2007143144) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU LASER À FAIBLE DIVERGENCE ET HAUTE PUISSANCE DESTINÉ À DES APPLICATIONS DE TRAITEMENT DE MATÉRIAUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/143144    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/013029
Date de publication : 13.12.2007 Date de dépôt international : 31.05.2007
CIB :
B23K 26/08 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (Tous Sauf US).
HOFMANN, Thomas [DE/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HOFMANN, Thomas; (US)
Mandataire : HILLMAN, Matthew, K.; Cymer, Inc., Legal Dept., Ms/4-2c, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
11/447,379 05.06.2006 US
11/805,596 23.05.2007 US
Titre (EN) DEVICE AND METHOD TO CREATE A LOW DIVERGENCE, HIGH POWER LASER BEAM FOR MATERIAL PROCESSING APPLICATIONS
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU LASER À FAIBLE DIVERGENCE ET HAUTE PUISSANCE DESTINÉ À DES APPLICATIONS DE TRAITEMENT DE MATÉRIAUX
Abrégé : front page image
(EN)A thin beam laser crystallization apparatus for selectively melting a film deposited on a substrate is disclosed having a laser source producing a pulsed laser output beam, the source having an oscillator comprising a convex reflector and a piano output coupler; and an optical arrangement focusing the beam in a first axis and spatially expanding the beam in a second axis to produce a line beam for interaction with the film.
(FR)Appareil de cristallisation par mince faisceau laser destiné à la fusion sélective d'un film déposé sur la surface d'un substrat et comprenant une source laser qui génère un faisceau de sortie laser pulsé, ladite source étant munie d'un oscillateur qui comporte un réflecteur convexe et un coupleur de sortie plano; et un ensemble optique destiné à la concentration du faisceau dans un premier axe et à son extension spatialement dans un deuxième axe pour générer un faisceau linéaire destiné au film.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)