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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2007141828 - UNITÉ ET SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ

Numéro de publication WO/2007/141828
Date de publication 13.12.2007
N° de la demande internationale PCT/JP2006/311055
Date du dépôt international 02.06.2006
CIB
F16L 41/02 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
LTUYAUX; RACCORDS OU AUTRES ACCESSOIRES POUR TUYAUX; SUPPORTS POUR TUYAUX, CÂBLES OU CONDUITS DE PROTECTION; MOYENS D'ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
41Tuyaux de branchement; Raccordements des tuyaux aux parois
02Ensembles de branchements, p.ex. d'une seule pièce, soudés à l'autogène, rivetés
F16K 27/00 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
KSOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
27Structures des logements; Matériaux utilisés à cet effet
F17D 5/00 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
17STOCKAGE OU DISTRIBUTION DES GAZ OU DES LIQUIDES
DSYSTÈMES DE CANALISATION; PIPE-LINES
5Protection ou surveillance des installations
CPC
F17D 1/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
DPIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
1Pipe-line systems
02for gases or vapours
04for distribution of gas
Y10T 137/87177
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
87169Supply and exhaust
87177With bypass
Y10T 137/87885
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
137Fluid handling
8593Systems
877With flow control means for branched passages
87885Sectional block structure
Déposants
  • シーケーディ株式会社 CKD CORPORATION [JP/JP]; 〒4858551 愛知県小牧市応時二丁目250番地 Aichi 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551, JP (AllExceptUS)
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 〒1078481 東京都港区赤坂五丁目3番6号 Tokyo 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481, JP (AllExceptUS)
  • 守谷 修司 MORIYA, Shuji [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 長岡 秀樹 NAGAOKA, Hideki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 岡部 庸之 OKABE, Tsuneyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 板藤 寛 ITAFUJI, Hiroshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 土居 広樹 DOI, Hiroki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 伊藤 稔 ITO, Minoru [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 守谷 修司 MORIYA, Shuji; JP
  • 長岡 秀樹 NAGAOKA, Hideki; JP
  • 岡部 庸之 OKABE, Tsuneyuki; JP
  • 板藤 寛 ITAFUJI, Hiroshi; JP
  • 土居 広樹 DOI, Hiroki; JP
  • 伊藤 稔 ITO, Minoru; JP
Mandataires
  • 特許業務法人コスモス特許事務所 COSMOS PATENT OFFICE; 〒4600003 愛知県名古屋市中区錦二丁目2番22号 名古屋センタービル別館2階 Aichi Annex 2nd Floor, Nagoya Center Building 2-22, Nishiki 2-chome, Naka-ku Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) GAS SUPPLY UNIT AND GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) UNITÉ ET SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ
(JA) ガス供給ユニット及びガス供給システム
Abrégé
(EN)
A gas supply unit and a gas supply system that are small-sized and inexpensive. The gas supply unit (11A) is installed on operation gas conveyance pipeline and has fluid control devices (2-6, 9) communicated via flow path blocks (12-17) and controlling operation gas. The gas supply unit has the first flow path block (14), to one side of which an inlet open/close valve (4) included in the fluid control devices is attached, and also has the second flow path block (17), to one side of which a purge valve (9) included in the fluid control devices is attached. The first flow path block (14) and the second flow path block (17) are layered in the direction perpendicular to the conveyance direction of the operation gas. The inlet open/close valve (4) and the purge valve (9) are arranged between a mass flow controller (5) installed on the operation gas conveyance pipeline and an installation surface where the unit (11A) is installed.
(FR)
L'invention concerne une unité et un système d'alimentation en gaz de petite taille et bon marché. L'unité d'alimentation en gaz (11A) est installée sur une conduite de transport de gaz de travail et comporte des mécanismes de contrôle de fluide (2-6, 9) en communication grâce à des blocs de circuit d'écoulement (12-17) et contrôlant le gaz de travail. L'unité d'alimentation en gaz comporte un premier bloc de circuit d'écoulement (14) sur un côté duquel est fixée une soupape d'admission ouverte/fermée (4) faisant partie des mécanismes de contrôle de fluide, ainsi qu'un deuxième bloc de circuit d'écoulement (17) sur un côté duquel est attachée une soupape de vidange (9) faisant partie des mécanismes de contrôle de fluide. Le premier bloc de circuit d'écoulement (14) et le deuxième bloc de circuit d'écoulement (17) sont superposés selon une direction perpendiculaire à la direction de transport du gaz de travail. La soupape d'admission ouverte/fermée (4) et la soupape de vidange (9) sont placées entre un contrôleur de débit massique (5) installé sur la conduite de transport de gaz de travail et une surface d'installation sur laquelle l'unité (11A) est installée.
(JA)
 小型で安価なガス供給湯ユニット及びガス供給システムを提供するために、作用ガス搬送管路上に配設されるものであり、複数の流体制御機器2~6,9が流路ブロック12~17を介して連通して作用ガスを制御するガス供給ユニット11Aにおいて、複数の流体制御機器に含まれる入口開閉弁4を一側面に取り付けられる第1流路ブロック14と、複数の流体制御機器に含まれるパージ弁9を一側面に取り付けられる第2流路ブロック17とを有し、第1流路ブロック14と第2流路ブロック17を作用ガスの搬送方向に対して垂直方向に積層し、入口開閉弁4とパージ弁9を、作用ガス搬送管路上に配設されたマスフローコントローラ5とユニット11Aを取り付ける取付面との間に配設する。
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