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1. (WO2007141235) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LA VAPORISATION D'UN MATÉRIAU DE DÉPART ORGANIQUE SOUS FORME DE POUDRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/141235    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/055461
Date de publication : 13.12.2007 Date de dépôt international : 04.06.2007
CIB :
C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : AIXTRON AG [DE/DE]; Kackertstrasse 15-17, 52072 Aachen (DE) (Tous Sauf US).
STRAUCH, Gerhard Karl [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : STRAUCH, Gerhard Karl; (DE)
Mandataire : GRUNDMANN, Dirk; Corneliusstrasse 45, 42329 Wuppertal (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2006 026 576.9 06.06.2006 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN EINES PULVERFÖRMIGEN ORGANISCHEN AUSGANGSSTOFFS
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR VAPOUR DEPOSITING A POWDERED ORGANIC STARTING MATERIAL
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LA VAPORISATION D'UN MATÉRIAU DE DÉPART ORGANIQUE SOUS FORME DE POUDRE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten einer Oberfläche eines Substrates (17) mit einem organischen Material, wobei das organische Material als pulverförmiger Ausgangsstoff (10) vorliegt, der bei einer Temperatur, die unterhalb der Zerlegungstemperatur der das organische Material bildenden Moleküle liegt, in einem Vorratsbehälter (1) bevorratet wird, von wo aus er dosiert in eine Verdampfungseinrichtung (2) gebracht wird, wo er zufolge Wärmezufuhr verdampft. Um das eingangs genannte Verfahren bzw. die eingangs genannte Vorrichtung zum Aufdampfen eines pulverförmigen Materials zu verbessern. Insbesondere die Dampferzeugungsrate zu erhöhen, wird vorgeschlagen, dass der pulverförmige Ausgangsstoff (10) von einem Trägergas in die Verdampfungseinrichtung (2) gebracht wird und die Wärmezufuhr durch Aufheizen des Trägergases erfolgt.
(EN)The invention relates to a method for coating a surface of a substrate (17) with an organic material, wherein the organic material is in the form of a powdered starting material (10), which is kept in a storage container (1) at a temperature that lies below the decomposing temperature of the molecules forming the organic material, from where it is metered into an evaporating device (2), where it evaporates as a result of heat being supplied. In order to improve the method mentioned at the beginning or the apparatus mentioned at the beginning for vapour depositing a powdered material, in particular to increase the vapour generating rate, it is proposed that the powdered starting material (10) is brought into the evaporating device (2) by a carrier gas and the heat is supplied by heating up the carrier gas.
(FR)L'invention concerne un procédé de revêtement d'une surface d'un substrat (17) avec un matériau organique, le matériau organique se présentant sous forme d'un matériau de départ (10) poudreux et étant stocké dans un réservoir de stockage (1) à une température inférieure à la température de décomposition des molécules formant le matériau organique, le matériau étant extrait de ce réservoir pour être introduit de manière dosée dans un dispositif de vaporisation (2), dans lequel il s'évapore selon l'alimentation en chaleur. L'objectif est d'améliorer le procédé et le dispositif décrits précédemment pour la vaporisation d'un matériau poudreux. Afin notamment d'accroître la vitesse de génération de vapeur, le matériau poudreux de départ (10) est introduit par un gaz porteur dans le dispositif de vaporisation (2) et l'alimentation en chaleur a lieu par chauffage du gaz porteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)