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Paramétrages

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1. WO2007140943 - RÉSONATEURS À COUCHES MINCES SENSIBLES À LA MASSE POUR DES SYSTÈMES DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE COUCHE

Numéro de publication WO/2007/140943
Date de publication 13.12.2007
N° de la demande internationale PCT/EP2007/004881
Date du dépôt international 01.06.2007
CIB
G01B 17/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
17Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de vibrations infrasonores, sonores ou ultrasonores
02pour mesurer l'épaisseur
CPC
G01B 7/066
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness
063using piezo-electric resonators
066for measuring thickness of coating
H03H 9/02102
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02007of bulk acoustic wave devices
02086Means for compensation or elimination of undesirable effects
02102of temperature influence
Déposants
  • ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG [DE/DE]; Fahnenbergplatz 79085 Freiburg, DE (AllExceptUS)
  • LOSCHONSKY, Marc [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • DADGAR, Armin [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • REINDL, Leonhard [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • LOSCHONSKY, Marc; DE
  • DADGAR, Armin; DE
  • REINDL, Leonhard; DE
Mandataires
  • GRÜNECKER, KINKELDEY STOCKMAIR & SCHWANHÄUSSER; Maximilianstrasse 58 80538 München, DE
Données relatives à la priorité
10 2006 026 308.102.06.2006DE
10 2006 054 348.317.11.2006DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) MASSENSENSITIVE DÜNNSCHICHTRESONATOREN FÜR SCHICHTDICKENMESSSYSTEME
(EN) MASS-SENSITIVE THIN-FILM RESONATORS FOR LAYER THICKNESS MEASURING SYSTEMS
(FR) RÉSONATEURS À COUCHES MINCES SENSIBLES À LA MASSE POUR DES SYSTÈMES DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE COUCHE
Abrégé
(DE)
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Schichtdickensensor zur Überwachung von Abscheideprozessen sowie auf ein Verfahren zum Überwachen von Schichtabscheideprozessen in der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Um einen verbesserten Sensor zur Verfügung zu stellen, der die Bestimmung von Schichtdicken im Bereich weniger als ca.0,2 nm ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, massensensitive, sowohl longitudinal als auch transversal polarisierte, piezoelektrische Dünnschichtresonatoren für derartige Schichtdickenmesssysteme einzusetzen. Eine Temperaturkompensation kann zusätzlich durch Erregen mindestens zweier unterschiedlicher Schwingungsmoden mit unterschiedlichen Frequenzen und unterschiedlichem Temperaturgang und entsprechende Berechnung durchgeführt werden.
(EN)
The present invention relates to a layer thickness sensor for monitoring deposition processes and to a method for monitoring layer deposition processes in microsystem technology and nanotechnology. In order to provide an improved sensor which makes it possible to determine layer thicknesses in the region of less than approximately 0.2 nm, the invention proposes using mass-sensitive, piezoelectric thin-film resonators which are polarized both longitudinally and transversally for such layer thickness measuring systems. Temperature compensation can be additionally carried out by exciting at least two different oscillation modes at different frequencies and with a different temperature response and by means of corresponding calculation.
(FR)
La présente invention concerne un capteur d'épaisseur de couche servant à contrôler les processus de séparation ainsi qu'un procédé de contrôle de processus de séparation de couche dans les techniques de microsystèmes et la nanotechnologie. Pour réaliser un capteur amélioré qui permette de déterminer l'épaisseur de couches dans un domaine inférieur à 0,2 nm, il est prévu selon l'invention d'utiliser des résonateurs à couches minces piézoélectriques sensibles à la masse et polarisés aussi bien longitudinalement que transversalement pour de tels systèmes de mesure d'épaisseur de couche. Une compensation de température peut en outre être réalisée en excitant au moins deux modes d'oscillation différents à des fréquences différentes et à des évolutions de températures différentes, ainsi que le calcul correspondant.
Également publié en tant que
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