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Paramétrages

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1. WO2007139695 - dispositif de commande d'entrÉe en force et procÉdÉ de fabrication

Numéro de publication WO/2007/139695
Date de publication 06.12.2007
N° de la demande internationale PCT/US2007/011618
Date du dépôt international 15.05.2007
CIB
G09G 5/00 2006.01
GPHYSIQUE
09ENSEIGNEMENT; CRYPTOGRAPHIE; PRÉSENTATION; PUBLICITÉ; SCEAUX
GDISPOSITIONS OU CIRCUITS POUR LA COMMANDE DE L'AFFICHAGE UTILISANT DES MOYENS STATIQUES POUR PRÉSENTER UNE INFORMATION VARIABLE
5Dispositions ou circuits de commande de l'affichage communs à l'affichage utilisant des tubes à rayons cathodiques et à l'affichage utilisant d'autres moyens de visualisation
CPC
G01L 1/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
18using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
G01L 1/2231
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
20by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids
22using resistance strain gauges
2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
2231the supports being disc- or ring-shaped, adapted for measuring a force along a single direction
G01L 5/162
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
5Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
16for measuring several components of force
161using variations in ohmic resistance
162of piezoresistors
Déposants
  • VAGANOV, Vladimir [US/US]; US
  • BELOV, Nickolai [US/US]; null
Inventeurs
  • VAGANOV, Vladimir; US
  • BELOV, Nickolai; null
Mandataires
  • SAFONOV, Lilia, I.; Fitch, Even, Tabin & Flannery 120 South LaSalle Street Suite 1600 Chicago, IL 60603, US
Données relatives à la priorité
60/802,85624.05.2006US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) FORCE INPUT CONTROL DEVICE AND METHOD OF FABRICATION
(FR) dispositif de commande d'entrÉe en force et procÉdÉ de fabrication
Abrégé
(EN)
Method of fabricating 3-dimensional force input control devices comprising: providing a first substrate having side one and side two, fabricating stress-sensitive IC components and signal processing IC on the side one of the first substrate, fabricating closed trenches o the side two of the first substrate, said closed trenches create elastic element, frame area, and at least one rigid island separated from the frame areas, providing a second substrate having side one and side two, patterning side two of the second substrate to define area for deep etching, creating a layer of bonding material in the local areas on at least one of the surfaces of the side one of the second substrate and the side two of the first substrate followed by aligning and bonding said corresponding sides, etching the second substrate from the side two through to the first substrate, and dicing the bonded substrates into separate dice.
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif de commande d'entrée en force tridimensionnel. Celui-ci suit grossièrement un processus présentant les étapes consistant à obtenir un premier substrat ayant un côté un et un côté deux, à fabriquer des composants IC sensibles à la contrainte et un IC de traitement de signal sur le côté un du premier substrat, à fabriquer des tranchées fermées sur le côté deux du premier substrat dans chaque zone de puce, lesdites tranchées fermées créant un élément élastique, une zone de cadre et au moins un îlot rigide séparé des zones de cadre, à obtenir un second substrat ayant un côté un et un côté deux, à modeler le côté deux du second substrat pour définir des zones pour une gravure profonde, à créer une couche de matériau de collage dans les zones locales sur au moins une des surfaces du côté un du second substrat et du côté deux du premier substrat, à aligner et à coller le côté deux du premier substrat avec le côté un du second substrat, à graver le second substrat à partir du côté deux à travers le premier substrat, à découper en dés les deux substrats liés sur des puces séparées multiples, aboutissant à des dispositifs de commande d'entrée en force tridimensionnels de faible coût fabriqués par lots traités, alignés, collés et mis en dés.
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