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1. (WO2007139379) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉPÔT UTILISANT UNE DÉCHARGE LUMINESCENTE SOUS PRESSION ATMOSPHÉRIQUE PAR IMPULSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/139379    N° de la demande internationale :    PCT/NL2007/050245
Date de publication : 06.12.2007 Date de dépôt international : 24.05.2007
CIB :
C23C 16/515 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01), C23C 16/40 (2006.01)
Déposants : Fujifilm Manufacturing Europe B.V. [NL/NL]; Oudenstaart 1, NL-5047 TK Tilburg (NL) (Tous Sauf US).
DE VRIES, Hindrik Willem [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
ALDEA, Eugen [RO/NL]; (NL) (US Seulement).
STAROSTINE, Serguei Alexandrovich [RU/NL]; (NL) (US Seulement).
CREATORE, Mariadriana [IT/NL]; (NL) (US Seulement).
VAN DE SANDEN, Mauritius Cornelius Maria [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : DE VRIES, Hindrik Willem; (NL).
ALDEA, Eugen; (NL).
STAROSTINE, Serguei Alexandrovich; (NL).
CREATORE, Mariadriana; (NL).
VAN DE SANDEN, Mauritius Cornelius Maria; (NL)
Mandataire : VAN WESTENBRUGGE, Andries; Postbus 29720, NL-2502 LS Den Haag (NL)
Données relatives à la priorité :
06114720.3 30.05.2006 EP
06119616.8 28.08.2006 EP
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION USING PULSED ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉPÔT UTILISANT UNE DÉCHARGE LUMINESCENTE SOUS PRESSION ATMOSPHÉRIQUE PAR IMPULSION
Abrégé : front page image
(EN)Method and apparatus for deposition of a chemical compound or element using an atmospheric pressure glow discharge plasma in a treatment space (5) comprising two 5 electrodes (2, 3) connected to a power supply (4) for providing electrical power during an on-time (ton), the treatment space is filled with a gas composition of an active and an inert gas mixture, including a precursor of the chemical compound or element to be deposited.. Dust formation is prevented by using Nitrogen in the gas composition, applying short pulses and using a predetermined residence time of the gas composition 10 in the treatment space. Best results are obtained when using a stabilized plasma.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil de dépôt d'un composé ou élément chimique en utilisant un plasma à décharge luminescente sous pression atmosphérique dans un espace de traitement (5) comprenant deux électrodes (2, 3) reliées à une alimentation électrique (4) pour fournir un courant électrique pendant une période active (ton), l'espace de traitement étant rempli d'une composition gazeuse comprenant un mélange de gaz actifs et inertes, qui contient un précurseur du composé ou élément à déposer. On empêche la formation de poussière en utilisant de l'azote dans la composition gazeuse, en appliquant des impulsions courtes et en utilisant un temps de séjour prédéterminé de la composition gazeuse dans l'espace de traitement. Les meilleurs résultats sont obtenus en utilisant un plasma stabilisé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)