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1. (WO2007139225) DISPOSITIF D'INSPECTION EN SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/139225    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/061252
Date de publication : 06.12.2007 Date de dépôt international : 29.05.2007
CIB :
G01N 21/956 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
FUJIMORI, Yoshihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHII, Yuwa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJIMORI, Yoshihiko; (JP).
ISHII, Yuwa; (JP)
Mandataire : OHNISHI, Shogo; S.OHNISHI & ASSOCIATES HIGASHI-IKEBUKURO SS BUILDING 1F 3-20-3, Higashi-Ikebukuro Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-153724 01.06.2006 JP
Titre (EN) SURFACE INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION EN SURFACE
(JA) 表面検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A surface inspection device (1) includes an illumination optical system (30) for applying a rectilinear polarized light (L1) to a surface of a wafer (10) where a repeated pattern is formed; an alignment stage (20) for holding the wafer (10); an imaging optical system (40) for capturing an image of reflected light from the surface of the wafer (10); an image storage unit (51) for storing the image captured by the imaging optical system (40); an image processing unit (52) for performing predetermined image processing on the image stored in the image storage unit (51) and detecting a defect of the repeated pattern; and an image output unit (53) for outputting the result of the image processing by the image processing unit (52). The direction of the transmission axis of a second polarizing plate (43) is set to be inclined by 45 degrees against the transmission axis of a first polarizing plate (32).
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'inspection en surface (1) qui inclut un système optique d'éclairage (30) pour appliquer une lumière polarisée rectiligne (L1) sur une surface d'une tranche (10) où un motif répété est formé ; un étage redresseur (20) pour soutenir la tranche (10) ; un système optique de formation d'image (40) pour capturer une image de la lumière réfléchie à partir de la surface de la tranche (10) ; une unité de stockage d'image (51) pour stocker l'image capturée par le système optique de formation d'image (40) ; une unité de traitement d'image (52) pour effectuer un traitement d'image prédéterminé sur l'image stockée dans l'unité de stockage d'image (51) et détecter un défaut du motif répété ; et une unité de sortie d'image (53) pour transmettre le résultat du traitement d'image par l'unité de traitement d'image (52). La direction de l'axe de transmission d'une seconde plaque de polarisation (43) est établie de manière à être inclinée de 45 degrés par rapport à l'axe de transmission d'une première plaque de polarisation (32).
(JA) 表面検査装置1は、繰り返しパターンが形成されたウェハ10の表面に直線偏光L1を照射する照明光学系30と、ウェハ10を保持するアライメントステージ20と、ウェハ10の表面からの反射光の像を撮像する撮像光学系40と、撮像光学系40により撮像された画像を記憶する画像記憶部51と、画像記憶部51に記憶された画像に所定の画像処理を行って繰り返しパターンの欠陥を検出する画像処理部52と、画像処理部52による画像処理の結果を出力する画像出力部53とを備え、第2偏光板43の透過軸の方位が第1偏光板32の透過軸に対して45度だけ傾くように設定される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)