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Paramétrages

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1. WO2007138941 - DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE

Numéro de publication WO/2007/138941
Date de publication 06.12.2007
N° de la demande internationale PCT/JP2007/060484
Date du dépôt international 23.05.2007
CIB
G01F 1/696 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
FMESURE DES VOLUMES, DES DÉBITS VOLUMÉTRIQUES, DES DÉBITS MASSIQUES OU DU NIVEAU DES LIQUIDES; COMPTAGE VOLUMÉTRIQUE
1Mesure du débit volumétrique ou du débit massique d'un fluide ou d'un matériau solide fluent, dans laquelle le fluide passe à travers le compteur par un écoulement continu
68en utilisant des effets thermiques
696Circuits à cet effet, p.ex. débitmètres à courant constant
G01F 1/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
FMESURE DES VOLUMES, DES DÉBITS VOLUMÉTRIQUES, DES DÉBITS MASSIQUES OU DU NIVEAU DES LIQUIDES; COMPTAGE VOLUMÉTRIQUE
1Mesure du débit volumétrique ou du débit massique d'un fluide ou d'un matériau solide fluent, dans laquelle le fluide passe à travers le compteur par un écoulement continu
G01F 1/48 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
FMESURE DES VOLUMES, DES DÉBITS VOLUMÉTRIQUES, DES DÉBITS MASSIQUES OU DU NIVEAU DES LIQUIDES; COMPTAGE VOLUMÉTRIQUE
1Mesure du débit volumétrique ou du débit massique d'un fluide ou d'un matériau solide fluent, dans laquelle le fluide passe à travers le compteur par un écoulement continu
05en utilisant des effets mécaniques
34en mesurant la pression ou la différence de pression
48la pression ou la différence de pression étant produite par un élément capillaire
CPC
G01F 1/48
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
05by using mechanical effects
34by measuring pressure or differential pressure
48the pressure of differential pressure being created by a capillary element
G01F 1/6847
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
6847where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
G01F 1/6965
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68by using thermal effects
696Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
6965comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction
G01F 25/0007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
25Testing or calibrating apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level, or for metering by volume
0007for measuring volume flow
G05D 7/0635
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
0617specially adapted for fluid materials
0629characterised by the type of regulator means
0635by action on throttling means
Déposants
  • 株式会社堀場エステック HORIBA STEC, Co., Ltd. [JP/JP]; 〒6018116 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番地5 Kyoto 11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018116, JP (AllExceptUS)
  • 衣斐 寛之 EBI, Hiroyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 清水 哲夫 SHIMIZU, Tetsuo [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 北川 均 KITAGAWA, Hitoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 守谷 修司 MORIYA, Shuji [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 岡部 庸之 OKABE, Tsuneyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 衣斐 寛之 EBI, Hiroyuki; JP
  • 清水 哲夫 SHIMIZU, Tetsuo; JP
  • 北川 均 KITAGAWA, Hitoshi; JP
  • 守谷 修司 MORIYA, Shuji; JP
  • 岡部 庸之 OKABE, Tsuneyuki; JP
Mandataires
  • 藤本 英夫 FUJIMOTO, Hideo; 〒5340025 大阪府大阪市都島区片町2丁目2番40号 大発ビル5階 Osaka Daihatsu Building 5th Floor, 2-40, Katamachi 2-chome, Miyakojima-ku, Osaka-shi, Osaka 5340025, JP
Données relatives à la priorité
2006-14651226.05.2006JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) THERMAL TYPE MASS FLOW METER, AND THERMAL TYPE MASS FLOW CONTROL DEVICE
(FR) DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE
(JA) サーマル式質量流量計及びサーマル式質量流量制御装置
Abrégé
(EN)
Provided are a thermal type mass flow meter and a thermal type mass flow control device, which can reduce measurement errors due to the influences of a thermal siphon phenomenon, even what position the body block might be disposed at for use, although the entire constitution can be made simple, small and inexpensive, thereby to improve the flow measuring precision. The mass flow meter comprises a correcting operation CPU, which is made operative to cancel the measurement errors due to the thermal siphon phenomenon by calculating and storing correction values from the difference between a measured value at the time when the insides of a fluid passage in the body block and a flow measuring conduit are evacuated to an atmospheric or lower pressure and a measured value at the time when the conduit is filled with an actual fluid, the kind of the actual fluid, the pressure at the actual fluid filling time, and the flow rate ratio between the fluid passage and the flow measuring conduit, and by correcting a measured output value with the correction values.
(FR)
La présente invention concerne un débitmètre massique thermique et un dispositif de commande de débitmètre massique thermique qui peuvent réduire les erreurs de mesure induites par un phénomène de siphon thermique, ainsi que la position où le bloc de corps pourrait se placer lors de l'utilisation. La constitution dans son ensemble peut être simplifiée, la taille et le coût réduits, ce qui permet d'améliorer la précision de la mesure du débit. Le débitmètre massique comprend un CPU d'opération de correction qui est mis en marche afin d'annuler les erreurs de mesure induites par le phénomène de siphon thermique et ce, grâce au calcul et au stockage de valeurs de correction à partir de la différence obtenue entre une valeur mesurée, au moment où l'intérieur d'un passage de fluide dans le bloc de corps et un conduit de mesure de débit sont évacués à une pression inférieure ou atmosphérique, et une valeur mesurée au moment où le conduit se remplit d'un fluide réel; du type du fluide réel; de la pression au moment du remplissage avec le fluide réel et du rapport du débit entre le passage de fluide et le conduit de mesure du débit; et grâce à la correction d'une valeur de sortie mesurée avec les valeurs de correction.
(JA)
 この発明は、全体構造簡単かつ小型、安価に構成し得るものでありながら、本体ブロックをどのような姿勢に設置して用いる場合でも、サーマルサイフォン現象の影響による測定誤差を低減して流量測定精度の向上を図れるようにしたサーマル式質量流量計及びサーマル式質量流量制御装置を提供するものである。  この発明は、本体ブロック内部の流体流路及び流量測定用導管内を大気圧以下の圧力に引いたときの測定値とその導管に実流体を封入したときの測定値との差及び実流体の種類、実流体封入時の圧力並びに流体流路と流量測定用導管との流量比から補正値を算出し記憶し、この補正値で実測出力値を補正することにより、サーマルサイフォン現象による測定誤差をキャンセルするように動作する補正演算処理用CPUを具備している。
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