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1. (WO2007137997) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE L'ÉPAISSEUR DE COUCHE D'UN REVÊTEMENT ÉLECTRO-CONDUCTEUR SUR UN SUBSTRAT ÉLECTRO-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/137997    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/055074
Date de publication : 06.12.2007 Date de dépôt international : 25.05.2007
CIB :
G01B 7/06 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, 80333 München (DE) (Tous Sauf US).
DAALMANS, Gabriel [NL/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHEIERMANN, Sergej [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : DAALMANS, Gabriel; (DE).
SCHEIERMANN, Sergej; (DE)
Représentant
commun :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, 80506 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2006 025 356.6 31.05.2006 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM BESTIMMEN DER SCHICHTDICKE EINER ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN BESCHICHTUNG AUF EINEM ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN SUBSTRAT
(EN) METHOD FOR DETERMINING THE LAYER THICKNESS OF AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE COATING ON AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE L'ÉPAISSEUR DE COUCHE D'UN REVÊTEMENT ÉLECTRO-CONDUCTEUR SUR UN SUBSTRAT ÉLECTRO-CONDUCTEUR
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen der Schichtdicke einer elektrisch leitfähigen Beschichtung (52), die auf einem elektrisch leitfähigen Substrat (50) eines Prüfgegenstands aufgebracht ist. Zuerst wird die induzierte Spannung (U (Luft, ω) ) eines Wirbelstromsensors an der Luft als Funktion der Frequenz (ω) eines Erregerfeldes erfasst. Eine Mehrzahl beschichteter Referenzgegenstände wird bereitgestellt, die jeweils ein Substrat und eine Beschichtung aus den gleichen Materialien wie das Substrat (50) und die Beschichtung (52) des Prüfgegenstands umfassen. Die Referenzgegenstände weisen unterschiedliche bekannte Schichtdicken auf. Eine Referenzspannung (U(x,ω) ) für jeden Referenzgegenstand wird als Funktion der Frequenz (ω) des Erregerfeldes mit dem Wirbelstromsensor erfasst. Anschließend wird eine materialinduzierte Spannung (Umat (x) ) aus der Referenzspannung (U (x,ω) ) und der induzierten Spannung (U (Luft, ω) ) des Wirbelstromsensors an der Luft für jeden Referenzgegenstand bestimmt. Danach wird eine normierte Amplitude der materialinduzierten Spannung (Umat (x) ) für jeden Referenzgegenstand gebildet. Daraus wird eine Kalibrierkurve erstellt, die die normierte Amplitude der materialinduzierten Spannung (Umat (x) ) als Funktion der Schichtdicke (d1) der Beschichtung (52) darstellt. Die normierte Amplitude wird auf gleiche Weise auch für den Prüfgegenstand bestimmt. Daraus wird die Schichtdicke (d1) der Beschichtung (52) des Prüfgegenstands mit der Kalibrierkurve ermittelt.
(EN)The invention relates to a method for determining the layer thickness of an electrically conductive coating (52) which is applied on an electrically conductive substrate (50) of a test object. First, the induced voltage (U (air, ω)) of an eddy current sensor is collected in the air as a function of the frequency (ω) of an exciter field. The majority of coated reference objects which have been provided each contains a substrate and coating from the same materials, such as the substrate (50) and coating (52) of the test object. The reference objects display various known layer thicknesses. A reference voltage (U(x,ω)) can be detected for each reference object as a function of the frequency (ω) of the exciter field with the eddy current sensor. Subsequently, a material induced voltage (Umat(x)) can be determined from the reference voltage (U(x,ω)) and the induced voltage (U(air, ω)) of the eddy current sensor in the air for each reference object. Afterwards, standard amplitude of the material induced voltage (Umat(x)) can be generated for each reference object. Thus, a calibration curve results, which represents the standard amplitude of the material induced voltage (Umat(x)) as a function of layer thickness (d1) of the coating (52). The standard amplitude is also determined in the same way for test objects. Thus, the layer thickness (d1) of the coating (52) of the test object is determined by the calibration curve.
(FR)La présente invention concerne un procédé de détermination de l'épaisseur de couche d'un revêtement électro-conducteur (52) qui est posé sur un substrat électro-conducteur (50) d'un échantillon. Tout d'abord la tension induite (U (air, ω) ) d'un capteur à courants de Foucault est détectée à l'air comme fonction de la fréquence (ω) d'un champ d'excitation. Une pluralité d'objets de référence enduits est préparée, qui comprennent respectivement un substrat et un revêtement faits des mêmes matériaux que le substrat (50) et le revêtement (52) de l'échantillon. Les objets de référence comportent différentes épaisseurs de couches connues. Une tension de référence (U(x,ω) ) pour chaque objet de référence est détectée comme fonction de la fréquence (ω) du champ d'excitation avec le capteur à courants de Foucault. Ensuite une tension induite par matériau (Umat (x) ) est déterminée à partir de la tension de référence (U (x,ω) ) et de la tension induite (U (Luft, ω) ) du capteur à courants de Foucault à l'air pour chaque objet de référence. À la suite de cela, une amplitude standardisée de la tension induite par matériau (Umat (x) ) est formée pour chaque objet de référence. En outre, une courbe de calibrage est établie qui représente l'amplitude standardisée de la tension induite par matériau (Umat (x) ) comme fonction de l'épaisseur de couche (d1) du revêtement (52). L'amplitude standardisée est déterminée de la même manière également pour l'échantillon. En outre, l'épaisseur de couche (d1) du revêtement (52) de l'échantillon est communiquée avec la courbe de calibrage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)