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1. (WO2007109448) APPAREIL ET PROCÉDÉ DESTINÉS À SUPPORTER DES SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/109448    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/063794
Date de publication : 27.09.2007 Date de dépôt international : 12.03.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.09.2007    
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : OERLIKON USA, INC. [US/US]; 10050 16th Street North, St. Petersburg, FL 33716 (US) (Tous Sauf US).
JOHNSON, David [GB/US]; (US) (US Seulement).
LAI, Shouliang [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : JOHNSON, David; (US).
LAI, Shouliang; (US)
Mandataire : KAUGET, Harvey, S.; Phelps Dunbar LLP, 100 South Ashley Drive, Suite 1900, Tampa, FL 33602 (US)
Données relatives à la priorité :
60/783,614 17.03.2006 US
11/681,805 05.03.2007 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR CARRYING SUBSTRATES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DESTINÉS À SUPPORTER DES SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides a method and an apparatus for carrying at least one substrate for plasma processing. The method and apparatus comprising a carrier for transporting the substrate, that is located unbonded on the carrier, onto a substrate support within a plasma system for plasma processing. An electrostatic clamp, that is coupled to the substrate support, electrostatically secures the substrate to the substrate support through the carrier during plasma processing.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil destinés à supporter au moins un substrat en vue d'un traitement au plasma. Ce procédé et cet appareil comprennent un support destiné à transporter le substrat, qui est placé de façon non liée sur le support, sur un support de substrat dans un système à plasma en vue d'un traitement au plasma. Une pince électrostatique, qui est couplée au support de substrat, fixe de façon électrostatique le substrat sur le support de substrat via le support durant le traitement au plasma.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)