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1. (WO2007108871) SYSTÈME DE RÉGULATION DE PRESSION À PERFORMANCES OPTIMISÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/108871    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/003851
Date de publication : 27.09.2007 Date de dépôt international : 12.02.2007
CIB :
G05D 16/20 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01), F16K 3/34 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Wilmington, MA 01857 (US) (Tous Sauf US).
DAVIDKOVICH, Vladislav [UA/UA]; (US) (US Seulement).
HILL, Gordon [US/US]; (US) (US Seulement).
CHAMBERLAIN, Dave [US/US]; (US) (US Seulement).
LUCAS, Paul [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DAVIDKOVICH, Vladislav; (US).
HILL, Gordon; (US).
CHAMBERLAIN, Dave; (US).
LUCAS, Paul; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby, H.; Mcdermott Will & Emery, LLP, 28 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
11/387,042 21.03.2006 US
Titre (EN) PRESSURE CONTROL SYSTEM WITH OPTIMIZED PERFORMANCE
(FR) SYSTÈME DE RÉGULATION DE PRESSION À PERFORMANCES OPTIMISÉES
Abrégé : front page image
(EN)A pressure control system for controlling pressure of a fluid in a chamber (105) includes a pressure sensor (110) configured to measure the pressure of the fluid in the chamber, and a valve (120) configured to control the pressure of the fluid in the chamber by regulating flow of the fluid from the chamber. The pressure control system further includes a controller (140). The controller is configured to estimate the volume of the chamber, and to generate a pump speed curve of the valve. The controller is further configured to monitor and modify the pump speed curve so as to maintain a slope of the pump speed curve to at least a minimum value, and to use the modified pump speed curve to adjust the position of the valve in response to pressure measurements by the pressure sensor, so as to maintain the pressure in the chamber at a desired pressure setpoint.
(FR)L'invention porte sur un système de stabilisation de la pression d'un fluide contenu dans une chambre (105), comprenant: un manomètre (110); une soupape régulant le débit du fluide (120) sortant de la chambre; et un régulateur (140) estimant le volume de la chambre et élaborant la courbe de vitesse de la pompe de la soupape. Le régulateur est en outre conçu: pour suivre et modifier la courbe de vitesse de la pompe pour en maintenir la pente à au moins une valeur minimale, et pour utiliser la courbe ainsi modifiée pour régler la position de la soupape en fonction des mesures de pression du manomètre, et maintenir ainsi la pression de la chambre à la valeur de consigne voulue.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)