Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2007108349) PROCEDE DE TRANSFERT/D'ALIGNEMENT DANS UNE MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE, MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET SUPPORT DE STOCKAGE INFORMATIQUE

Pub. No.:    WO/2007/108349    International Application No.:    PCT/JP2007/054837
Publication Date: Fri Sep 28 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Tue Mar 13 00:59:59 CET 2007
IPC: H01L 21/68
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
KONDOH, Keisuke
近藤 圭祐
KOIZUMI, Hiroshi
小泉 浩
Inventors: KONDOH, Keisuke
近藤 圭祐
KOIZUMI, Hiroshi
小泉 浩
Title: PROCEDE DE TRANSFERT/D'ALIGNEMENT DANS UNE MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE, MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET SUPPORT DE STOCKAGE INFORMATIQUE
Abstract:
L'invention concerne une chambre de transfert sous vide (10) dans laquelle est installé un mécanisme de détection de position (33) permettant de détecter la position de plaquettes de semi-conducteurs (W). Les plaquettes de semi-conducteurs (W) placées à des positions prédéfinies dans une chambre de blocage (17) et dans des chambres de traitement sous vide (11-16)sont transférées sur le mécanisme de détection de position (33) par un mécanisme de transfert sous vide (30) et on détecte les positions des plaquettes. On procède ensuite à l'alignement entre la chambre de charge (17) et les chambres de traitement sous vide (11-16) en fonction des résultats de la détection des positions.