WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2007108060) PROCEDE DE MESURE D'INTERFERENCES ET INSTRUMENT DE MESURE D'INTERFERENCES L'EMPLOYANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/108060    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/305341
Date de publication : 27.09.2007 Date de dépôt international : 17.03.2006
CIB :
G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588 (JP) (Tous Sauf US).
TAKAHASHI, Fumiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TSUKAHARA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAKAHASHI, Fumiyuki; (JP).
TSUKAHARA, Hiroyuki; (JP)
Mandataire : HAYASHI, Tsunenori; Hayashi, Doi & Associates Toshou-Building No. 3 3-9-5, Shin-yokohama, Kohoku-ku Yokahama-shi Kanagawa 222-0033 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) INTERFERENCE MEASUREMENT METHOD AND INTERFERENCE MEASUREMENT INSTRUMENT EMPLOYING IT
(FR) PROCEDE DE MESURE D'INTERFERENCES ET INSTRUMENT DE MESURE D'INTERFERENCES L'EMPLOYANT
(JA) 干渉計測方法およびこれを用いる干渉計測装置
Abrégé : front page image
(EN)An interference measurement instrument, which acquires a high contrast interference fringe by using as measurement light a wavelength light containing little reflection light from an optical thin film when interference measurement is performed through an optical window on which the optical thin film is deposited, comprises an illuminator outputting light having wideband wavelength distribution characteristics, a wavelength filter selecting means for selecting and outputting light of at least one wavelength by receiving light from the illuminator and switching between a plurality of wavelength filters having different central wavelengths, and a half mirror for branching the wave length light selected by the wavelength filter selecting means into reference light and illumination light directed toward a measurement object and outputting interference light of the illumination light reflected from the measurement object and the reference light, wherein the wavelength filter selecting means is arranged to select such a combination of wavelength filters that allows the contrast of an interference fringe in the interference light from the half mirror to exceed a predetermined threshold or be maximized.
(FR)L'invention concerne un instrument de mesure d'interférences acquérant une frange d'interférence à fort contraste en utilisant comme lumière de mesure une lumière en longueur d'onde contenant peu de lumière réfléchie provenant d'un film optique mince lorsqu'une mesure d'interférences est réalisée à travers une fenêtre optique sur laquelle est déposé ledit film optique mince, ledit instrument comportant un illuminateur émettant une lumière présentant des caractéristiques de répartition de longueurs d'ondes à large bande, un moyen de sélection de filtre de longueurs d'ondes destiné à sélectionner et à émettre une lumière d'au moins une longueur d'onde en recevant la lumière issue de l'illuminateur et en opérant une commutation entre une pluralité de filtres de longueurs d'ondes présentant des longueurs d'ondes centrales différentes, et un miroir semi-réfléchissant destiné à faire bifurquer la lumière de longueur d'onde sélectionnée par le moyen de sélection de filtre de longueurs d'ondes en une lumière de référence et une lumière d'éclairement dirigée vers un objet de mesure, et à émettre la lumière d'interférence de la lumière d'éclairement réfléchie à partir de l'objet de mesure et de la lumière de référence, le moyen de sélection de filtre de longueurs d'ondes étant agencé de façon à sélectionner une combinaison de filtres de longueurs d'ondes permettant au contraste d'une frange d'interférence dans la lumière d'interférence issue du miroir semi-réfléchissant de dépasser un seuil prédéterminé ou d'être maximisé.
(JA) 光学薄膜が成膜された光学窓越しの干渉計測を行う場合において,光学薄膜からの反射光が少ない波長を計測光として使用することにより,コントラストの高い干渉縞を取得する干渉計測装置は,広帯域な波長分布特性を有する光を出力する照明装置と,前記照明装置から出力される光を入力し,中心波長の異なる複数の波長フィルタを切り替え可能で,少なくとも一の波長光を選択出力する,波長フィルタ選択手段と,前記波長フィルタ選択手段により選択された波長光を参照光と,前記計測対象向かう照射光とに分岐し,更に前記照射光による前記計測対象からの反射光と前記参照光による干渉光を生成出力するハーフミラーを有し,前記波長フィルタ選択手段は,前記ハーフミラーからの干渉光における干渉縞のコントラストが所定閾値以上若しくは最大となる波長フィルタの組み合わせを選択するように構成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)