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1. (WO2007106395) CIRCUIT D'EXTINCTION D'ARC POUR ATTÉNUER LA RUPTURE DU FAISCEAU D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/106395    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/006073
Date de publication : 20.09.2007 Date de dépôt international : 09.03.2007
CIB :
H01J 37/248 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01), H02H 7/00 (2006.01), G05F 1/569 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 108 Cherry Hill Drive, Beverly, MA 01915 (US) (Tous Sauf US).
WEIGUO, Que [CN/US]; (US) (US Seulement).
HUANG, Yongzhang [CN/US]; (US) (US Seulement).
YE, John [US/US]; (US) (US Seulement).
TAO, David [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WEIGUO, Que; (US).
HUANG, Yongzhang; (US).
YE, John; (US).
TAO, David; (US)
Données relatives à la priorité :
60/781,977 14.03.2006 US
Titre (EN) ARC QUENCHING CIRCUIT TO MITIGATE ION BEAM DISRUPTION
(FR) CIRCUIT D'EXTINCTION D'ARC POUR ATTÉNUER LA RUPTURE DU FAISCEAU D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is directed to a circuit (100) for quenching an arc that may form between high voltage extraction or suppression electrodes associated with an ion source (120) of an ion implantation system to mitigate an erratic ion beam current and avoid non-uniform ion implantations, for example. High voltage high speed switching circuits (104) are added in series with the high voltage supplies (102) for the suppression and/or extraction electrodes to extinguish the harmful arcs which may nearly discharge the high voltage capacitors of such HV power supplies, which dramatically affects the ion beam current and takes considerable time thereafter to recover. The high voltage switches are controlled by trigger circuits (108) which detect current or voltages changes in the HV supplies (102) to the electrodes. The arc quenching circuit also comprises protection circuits (110,115) for the HV switches that absorb excess energy from reactive components and clamp any overvoltages to protect the HV switches (104).
(FR)La présente invention concerne un circuit permettant d'éteindre un arc pouvant se former entre les électrodes d'extraction et suppression haute tension associées à une source d'ions d'un système d'implantation d'ions pour atténuer un courant erratique de faisceau d'ions et éviter les implantions d'ions non uniforme, par exemple. Des circuits haute tension à commutation rapide sont montés en série sur les équipements haute tension utilisés pour les électrodes d'extraction et suppression de façon à éteindre les arcs délétères susceptibles de presque décharger les condensateurs haute tension de tels équipements d'alimentation haute tension, ce qui a des effets néfastes importants sur le courant du faisceau d'ions et demande beaucoup de temps à récupérer. Les commutateurs haute tension sont commandés par des circuits déclencheurs qui détectent les changements de courant ou de tensions affectant les équipements haute tension desservant les électrodes. Le circuit d'extinction d'art comprend également des circuits de protection pour les commutateurs haute tension qui absorbent le courant en trop provenant des composants réagissant, et bloquent les éventuelles surtensions pour protéger les commutateurs haute tension.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)