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1. (WO2007104404) DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN JET DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/104404    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/001386
Date de publication : 20.09.2007 Date de dépôt international : 17.02.2007
CIB :
H05H 1/24 (2006.01)
Déposants : MASCHINENFABRIK REINHAUSEN GMBH [DE/DE]; Falkensteinstrasse 8, 93059 Regensburg (DE) (Tous Sauf US).
IGNATKOV, Andrej [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RAACKE, Jens [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : IGNATKOV, Andrej; (DE).
RAACKE, Jens; (DE)
Représentant
commun :
MASCHINENFABRIK REINHAUSEN GMBH; Patentbüro, Postfach 12 03 60, 93025 Regensburg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2006 012 100.7 16.03.2006 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES PLASMA-JETS
(EN) APPARATUS FOR PRODUCING A PLASMA JET
(FR) DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN JET DE PLASMA
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets mit mindestens einem Entladungsrohr, durch das ein Prozessgas hindurchströmt. Erfindungsgemäß ist an mindestens einem Entladungsrohr ein elektrisch leitender Entladungsschutz vorgesehen. Die Vorteile der Erfindung bestehen insbesondere darin, dass parasitäre Entladungen unterdrückt werden und die thermischen Belastungen der einzelnen Bauteile der Vorrichtung und des Substrates reduziert werden.
(EN)The invention relates to an apparatus for producing a plasma jet, having at least one discharge tube through which a process gas flows. According to the invention, electrically conductive discharge protection is provided on at least one discharge tube. The advantages of the invention are, in particular, that parasitic discharges are suppressed, and the thermal loads on the individual components of the apparatus and of the substrate are reduced.
(FR)L'invention concerne un dispositif de production d'un jet de plasma avec au moins un tube de décharge à travers lequel circule un gaz de traitement. Selon l'invention, au moins un tube de décharge comporte une protection de décharge électriquement conductrice. L'invention présente des avantages en ce que des décharges parasites sont contenues et en ce que les charges thermiques des composants individuels du dispositif et du substrat sont réduites.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)