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1. WO2007104206 - DÉTECTEUR TRIDIMENSIONNEL INTÉGRÉ DE CHAMPS MAGNÉTIQUES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT

Numéro de publication WO/2007/104206
Date de publication 20.09.2007
N° de la demande internationale PCT/CN2006/003797
Date du dépôt international 31.12.2006
CIB
G01R 33/09 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
33Dispositions ou appareils pour la mesure des grandeurs magnétiques
02Mesure de la direction ou de l'intensité de champs magnétiques ou de flux magnétiques
06en utilisant des dispositifs galvano-magnétiques
09des dispositifs magnéto-résistifs
G01R 33/035 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
33Dispositions ou appareils pour la mesure des grandeurs magnétiques
02Mesure de la direction ou de l'intensité de champs magnétiques ou de flux magnétiques
035en utilisant des dispositifs supraconducteurs
H01L 43/12 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
43Dispositifs utilisant les effets galvanomagnétiques ou des effets magnétiques analogues; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
12Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou le traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
CPC
G01R 33/0206
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
0206Three-component magnetometers
H01L 43/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08Magnetic-field-controlled resistors
Déposants
  • 中国科学院物理研究所 INSTITUTE OF PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN]/[CN] (AllExceptUS)
  • 韩秀峰 HAN, Xiufeng [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 马明 MA, Ming [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 覃启航 TAN, Qihang [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 王磊 WANG, Lei [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 赖武彦 LAI, Wuyan [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 詹文山 ZHAN, Wenshan [CN]/[CN] (UsOnly)
Inventeurs
  • 韩秀峰 HAN, Xiufeng
  • 马明 MA, Ming
  • 覃启航 TAN, Qihang
  • 王磊 WANG, Lei
  • 赖武彦 LAI, Wuyan
  • 詹文山 ZHAN, Wenshan
Mandataires
  • PANAWELL & PARTNERS, LLC
Données relatives à la priorité
200610057375.710.03.2006CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) AN INTEGRATED THREE-DIMENSIONAL MAGNETIC FIELD SENSOR AND A MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) DÉTECTEUR TRIDIMENSIONNEL INTÉGRÉ DE CHAMPS MAGNÉTIQUES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT
(ZH) 一种三维集成复合磁场传感器及其制法
Abrégé
(EN)
An integrated three-dimensional magnetic field sensor and a manufacturing method thereof comprise fabricating three single-dimensional magnetic field sensors by using a method of manufacturing film and photolithography, arranging the three single-dimensional magnetic field sensors on three adjacent faces of a cube (9) of non-magnetic material respectively, and adjacent planes of two single-dimensional magnetic field sensors perpendicular to each other. The magnetic multilayer film of the single-dimensional magnetic field sensor includes an anti-ferromagnetic layer (31), a pinned layer (32), a non-magnetic layer (33) and a free layer (34) in turn, a top electrode (4) and a closed superconducting loop are mounted on the free layer (34) in turn. The closed superconducting loop has a section with a width of 1~100µm and the length of the section is 10~200µm, the other sections have a width of 1~100mm, the location of the narrow section coincides with the location of the lower magnetic field sensor and the length direction is perpendicular to the magnetization direction of the pinned layer of the magnetic field sensor, and input terminals (Ui) of the three single-dimensional magnetic field sensors are connected in series.
(FR)
La présente invention concerne un détecteur tridimensionnel intégré de champs magnétiques et un procédé de fabrication correspondant. Ce procédé consiste à fabriquer trois détecteurs unidimensionnels de champs magnétiques en employant une technique de fabrication de films et de photolithographie. On dispose ensuite les trois détecteurs unidimensionnels de champs magnétiques respectivement sur trois faces adjacentes d'un cube (9) de matériau non magnétique, en plaçant les plans adjacents de deux détecteurs unidimensionnels de champs magnétiques perpendiculairement l'un par rapport à l'autre. Le film magnétique multicouche du détecteur unidimensionnels de champs magnétiques comporte, successivement une couche anti-ferromagnétique (31), une couche fixée (32), une couche non magnétique (33), et une couche libre (34). Une électrode supérieure (4), et une boucle fermée supraconductrice sont disposées successivement sur la couche libre (34). La boucle fermée supraconductrice comporte une section d'une largeur de 1~100µm pour une longueur de 10~200µm. Les autres sections ont une largeur de 1~100mm. L'emplacement de la section étroite coïncide avec l'emplacement du détecteur de champs magnétiques inférieur. L'axe de la longueur est perpendiculaire à l'axe d'aimantation de la couche fixée du détecteur de champs magnétiques. Enfin, les bornes d'entrée (Ui) des trois détecteurs unidimensionnels de champs magnétiques sont montées en série.
Également publié en tant que
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