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1. WO2007104171 - PROCEDE DE FABRICATION PAR LIGA-UV D'UNE STRUCTURE METALLIQUE MULTICOUCHE A COUCHES ADJACENTES NON ENTIEREMENT SUPERPOSEES, ET STRUCTURE OBTENUE

Numéro de publication WO/2007/104171
Date de publication 20.09.2007
N° de la demande internationale PCT/CH2007/000126
Date du dépôt international 08.03.2007
CIB
C25D 1/08 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
25PROCÉDÉS ÉLECTROLYTIQUES OU ÉLECTROPHORÉTIQUES; APPAREILLAGES À CET EFFET
DPROCÉDÉS POUR LA PRODUCTION ÉLECTROLYTIQUE OU ÉLECTROPHORÉTIQUE DE REVÊTEMENTS; GALVANOPLASTIE; JONCTION DE PIÈCES PAR ÉLECTROLYSE; APPAREILLAGES À CET EFFET
1Galvanoplastie
08Articles perforés ou foraminés, p.ex. tamis
CPC
C25D 1/08
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
1Electroforming
08Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
G03F 7/40
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
40Treatment after imagewise removal, e.g. baking
G04B 29/022
GPHYSICS
04HOROLOGY
BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
29Frameworks
02Plates; Bridges; Cocks
022Bridges
G04B 29/027
GPHYSICS
04HOROLOGY
BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
29Frameworks
02Plates; Bridges; Cocks
027Materials and manufacturing
G04D 3/0069
GPHYSICS
04HOROLOGY
DAPPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
3Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
0069for working with non-mechanical means, e.g. chemical, electrochemical, metallising, vapourising; with electron beams, laser beams
Y10T 428/12486
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
428Stock material or miscellaneous articles
12All metal or with adjacent metals
12486Laterally noncoextensive components [e.g., embedded, etc.]
Déposants
  • DONIAR S.A. [CH]/[CH] (AllExceptUS)
  • SAUCY, Clément [CH]/[CH] (UsOnly)
Inventeurs
  • SAUCY, Clément
Mandataires
  • SAVOYE, Jean-Paul
Données relatives à la priorité
06405115.415.03.2006EP
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) UV-LIGA PROCESS FOR FABRICATING A MULTILAYER METAL STRUCTURE HAVING ADJACENT LAYERS THAT ARE NOT ENTIRELY SUPERPOSED, AND STRUCTURE OBTAINED
(FR) PROCEDE DE FABRICATION PAR LIGA-UV D'UNE STRUCTURE METALLIQUE MULTICOUCHE A COUCHES ADJACENTES NON ENTIEREMENT SUPERPOSEES, ET STRUCTURE OBTENUE
Abrégé
(EN)
A layer of photoresist (9b) is spread on a metal substrate (8) and heated, this layer is exposed through a mask to UV irradiation, the parts not photocured are developed, by dissolving them, so as to obtain a mould, a first layer (12) of metal or of an alloy is galvanically deposited in the open parts of the mould, the metal structure and the mould are levelled by machining so as to obtain a plane upper surface, a metal ply layer (13) is deposited on the entire upper surface, and then the above steps are repeated. A second layer (16) of metal or an alloy is galvanically deposited in the open parts of the mould, the multilayer metal structure obtained is detached from the substrate by delamination and the photoresist is cured, the photoresist is separated so as to free the multilayer metal structure, and then that portion of the metal ply layer or layers which is not inserted between two electrodeposited metal layers is removed.
(FR)
On étale et on chauffe une couche de photorésist (9b) sur un substrat (8) en métal, on expose cette couche à travers un masque à une irradiation UV, on développe par dissolution les parties non photopolymérisées, de façon à obtenir un moule, on dépose galvaniquement une première couche (12) d'un métal ou d'un alliage dans les parties ouvertes du moule, on met à niveau par usinage la structure métallique et le moule de façon à obtenir une surface supérieure plane, on dépose une couche métallique (13) d'accrochage sur toute la surface supérieure, puis on reproduit les étapes précédentes. On dépose galvaniquement une deuxième couche (16) d'un métal ou d'un alliage dans les parties ouvertes du moule on détache du substrat par délaminage la structure métallique multicouche obtenue et le photorésist polymérisé, on sépare le photorésist de façon à libérer la structure métallique multicouche, puis on élimine la partie de la ou des couches métalliques d'accrochage qui n'est pas insérée entre deux couches de métal électrodéposé.
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