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1. (WO2007102421) système d'inspection de motif et procédé d'inspection de motif
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/102421    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/054015
Date de publication : 13.09.2007 Date de dépôt international : 02.03.2007
CIB :
G01B 15/00 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01)
Déposants : ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahi-cho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (Tous Sauf US).
SHIDA, Soichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIDA, Soichi; (JP)
Mandataire : OKAMOTO, Keizo; OKAMOTO PATENT OFFICE Yamanishi Bldg., 4F 11-7, Nihonbashi Ningyo-cho 3-chome Chuo-ku, Tokyo 1030013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-059497 06.03.2006 JP
Titre (EN) PATTERN INSPECTING SYSTEM AND PATTERN INSPECTING METHOD
(FR) système d'inspection de motif et procédé d'inspection de motif
(JA) パターン検査システム及びパターン検査方法
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a pattern inspecting system and a pattern inspecting method by which a time required for inspecting a pattern formed on a sample can be shortened and accurate inspection can be performed. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A pattern inspecting system is composed of a CAD system and a pattern length measuring apparatus which can communicate each other. The CAD system is composed of a CAD storage section, an information inputting section, a data generating section for generating set-up data by extracting pattern designing information of a pattern included in a specified range to be inspected from the CAD storage section, a CAD control section and a CAD communication section. The pattern length measuring apparatus is composed of a storage section, an automatic measuring data generating section for generating automatic measuring data for performing automatic measurement, a length measuring section for performing automatic focusing and automatically measuring the length of the pattern, a control section and a communicating section. The control section controls the length measuring section to perform automatic focusing within a range specified by the automatic measuring section and then to perform automatic measurement of the pattern length.
(FR)L'invention concerne un système d'inspection de motif et un procédé d'inspection de motif permettant de raccourcir le temps requis pour l'inspection d'un motif formé sur un échantillon et de réaliser une inspection précise. Le système d'inspection de motif est composé d'un système CAO et d'un appareil de mesure de longueur de motif capables de communiquer l'un avec l'autre. Le système CAO est composé d'une section de stockage CAO, d'une section de saisie d'informations, d'une section de génération de données servant à générer des données de configuration en extrayant des informations de conception de motif incluse dans une plage spécifique à examiner de la section de stockage CAO, d'une section de commande CAO et d'une section de communication CAO. L'appareil de mesure de longueur de motif est composé d'une section de stockage, d'une section de génération de données de mesure automatique servant à générer des données de mesure automatique permettant de réaliser une mesure automatique, d'une section de mesure de longueur servant à réaliser une focalisation automatique et à mesurer automatiquement la longueur du motif, d'une section de commande et d'une section de communication. La section de commande commande la section de mesure de longueur pour réaliser une focalisation automatique dans une plage spécifiée par la section de mesure automatique et pour réaliser une mesure automatique de la longueur de motif.
(JA)【課題】試料に形成したパターンの検査時間を短縮するとともに、正確な検査をすることのできるパターン検査システム及びパターン検査方法を提供すること。 【解決手段】パターン検査システムは相互に通信可能なCAD装置とパターン測長装置とで構成される。CAD装置は、CAD記憶部と、情報入力部と、指定された検査対象範囲に含まれるのパターンのパターン設計情報をCAD記憶部から抽出してセットアップデータを生成するデータ生成部と、CAD制御部と、CAD通信部とにより構成される。パターン測長装置は、記憶部と、自動測定を行うための自動測定データを生成する自動測定データ生成部と、自動焦点合わせ及びパターンの自動測長を行う測長実行部と、制御部と、通信部とにより構成され、制御部は、測長実行部に前記自動測定データによって指定された範囲の自動焦点合わせを行わせ、その後、パターンの自動測長を行わせる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)