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1. (WO2007101018) TRAITEMENT UNILATÉRAL D'UNE PIÈCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/101018    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/062448
Date de publication : 07.09.2007 Date de dépôt international : 20.02.2007
CIB :
B08B 3/00 (2006.01)
Déposants : SEMITOOL, INC. [US/US]; 655 West Reserve Drive, Kalispell, Montana 59901 (US) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
RYE, Jason, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
WOODRUFF, Daniel [US/US]; (US) (US Seulement).
HANSON, Kyle, M. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : RYE, Jason, A.; (US).
WOODRUFF, Daniel; (US).
HANSON, Kyle, M.; (US)
Mandataire : OHRINER, Kenneth, H.; Perkins Coie LLP, P.O. Box 1208, Seattle, Washington 98111-1208 (US)
Données relatives à la priorité :
11/359,969 22.02.2006 US
11/619,515 03.01.2007 US
Titre (EN) SINGLE SIDE WORKPIECE PROCESSING
(FR) TRAITEMENT UNILATÉRAL D'UNE PIÈCE
Abrégé : front page image
(EN)A centrifugal workpiece processor for processing semiconductor workpieces includes a head which holds and spins the workpiece. The head includes a rotor having a gas system. Gas is sprayed from inlets in the rotor to create a rotational gas flow. The rotational gas flow causes pressure conditions which hold the edges of a first side of the workpiece against contact surfaces on the rotor. The rotor and the workpiece rotate together. Guide pins adjacent to a perimeter help align the workpiece with the rotor. An angled surface helps deflect spent process liquid away from the workpiece. The head is moveable into multiple different engagement positions with a bowl. Spray nozzles in the bowl spray a process liquid onto the second side of the workpiece, as the workpiece is spinning, to process the workpiece. A moving end point detector may be used to detect an end point of processing.
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement centrifuge de pièces pour le traitement de plaquettes de semi-conducteur, comprenant une tête qui maintient et fait tourner la pièce. Cette tête inclut un rotor avec système à gaz. Pulvérisé ou injecté à partir de bouches sur le rotor, le gaz crée un flux rotatif. Ce flux rotatif du gaz crée des conditions de pression qui maintiennent les bords d'un premier côté de la pièce contre des doigts de contact sur le rotor. Le rotor et la pièce tournent en même temps. Des doigts de guidage disposés à la périphérie contribuent à aligner la pièce sur le rotor. Une surface oblique facilite l'écoulement du fluide de traitement usé à l'écart de la pièce. La tête peut se déplacer sur des positions d'engagement différentes multiples avec une cuve. A l'intérieur de cette cuve, des buses vaporisent un liquide de traitement sur le second côté de la pièce pendant sa rotation. Un détecteur de point d'extrémité mobile peut s'utiliser pour détecter un point final de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)