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1. (WO2007100615) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION EN SURFACE À HAUTE SENSIBILITÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/100615    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/004635
Date de publication : 07.09.2007 Date de dépôt international : 21.02.2007
CIB :
G01N 21/00 (2006.01)
Déposants : ARIST INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 3304 Deer Hollow Drive Danville, CA 94506 (US) (Tous Sauf US).
ROSENCWAIG, Allan [US/US]; (US) (US Seulement).
WILLENBORG, David [US/US]; (US) (US Seulement).
CHEN, Li [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ROSENCWAIG, Allan; (US).
WILLENBORG, David; (US).
CHEN, Li; (US)
Mandataire : LIMBACH, Alan, A.; DLA Piper US LLP, 2000 University Avenue, East Palo Alto, CA 94303 (US)
Données relatives à la priorité :
60/776,037 22.02.2006 US
60/777,796 28.02.2006 US
60/795,836 27.04.2006 US
60/810,561 01.06.2006 US
60/836,786 09.08.2006 US
60/850,038 06.10.2006 US
60/859,846 16.11.2006 US
11/708,802 20.02.2007 US
Titre (EN) HIGH-SENSITIVITY SURFACE DETECTION SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION EN SURFACE À HAUTE SENSIBILITÉ
Abrégé : front page image
(EN)An inspection system and method for inspecting a sample surface, with a light source for generating a probe beam of light, a high NA lens for focusing the probe beam onto a sample surface, and collecting a scattered probe beam from the sample surface, optics for imaging the scattered probe beam onto a detector having a plurality of detector elements that generate output signals in response to the scattered probe beam, and a processor for analyzing the output signals to identify defects on the sample surface. Shaping the beam into a stripe shape increases intensity without sacrificing throughput. Offsetting the beam from the center of the high NA lens provides higher angle illumination. Crossed polarizers also improve signal quality. A homodyne or heterodyne reference beam (possibly using a frequency altering optical element) can be used to create an interferometric signal at the detector for improved signal to noise ratios.
(FR)La présente invention concerne un système d'inspection et un procédé servant à inspecter la surface d'un échantillon, avec une source de lumière servant à générer faisceau de lumière de sondage, une lentille à NA élevé servant à focaliser le faisceau de sondage sur la surface de l'échantillon, et à collecter un faisceau de sondage diffusé depuis la surface de l'échantillon, des éléments optiques servant à créer une image du faisceau de sondage diffusé sur un détecteur comportant une pluralité d'éléments détecteurs qui génèrent des signaux de sortie en réponse au faisceau de sondage diffusé, et un processeur servant à analyser les signaux de sortie pour identifier les défauts à la surface de l'échantillon. Donner au faisceau une forme de bande augmente l'intensité sans porter atteinte au flux. Un décalage du faisceau par rapport au centre de la lentille à NA élevé permet d'obtenir un éclairage d'angle plus élevé. Des polariseurs croisés permettent également d'améliorer la qualité du signal. Un faisceau de référence homodyne ou hétérodyne (pouvant utiliser un élément optique d'altération de fréquence) peut être utilisé pour créer un signal interférométrique au niveau du détecteur pour améliorer le rapport signal/bruit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)