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1. (WO2007099929) PROCEDE ET APPAREIL DE DEPOT DE MINCE FILM ORGANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/099929    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/053579
Date de publication : 07.09.2007 Date de dépôt international : 27.02.2007
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
NEGISHI, Toshio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HANE, Koji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NEGISHI, Toshio; (JP).
HANE, Koji; (JP)
Mandataire : ABE, Hideki; Toranomonkougyou Bldg., 3F, 1-2-18, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-052961 28.02.2006 JP
Titre (EN) ORGANIC THIN FILM DEPOSITING METHOD AND ORGANIC THIN FILM DEPOSITING APPARATUS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE DEPOT DE MINCE FILM ORGANIQUE
(JA) 有機薄膜蒸着方法及び有機薄膜蒸着装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an organic thin film depositing method by which accuracy of aligning a carrier with a substrate can be improved. An organic thin film depositing apparatus is also provided. In the organic thin film forming apparatus, substrates (4) carried into a vacuum chamber (2) are held by removable pallets (9), and while successively transferring the substrates (4), organic thin films are formed by deposition on the substrates. A transferring return section (15) is provided between a substrate taking out position (2b) and a deposition start position (2c) in the vacuum chamber (2), for transferring the pallet (9) separated from the substrate (4) after deposition, to the deposition start position (2c) through an upper section of a deposition area (11). The substrate carry-in position (2a) in the vacuum chamber (2) is provided with the substrate (4), a mask (6) for forming a deposition pattern, and an aligning mechanism (8) for aligning the pallet (9) from the vertical direction.
(FR)La présente invention concerne un procédé de dépôt de mince film organique qui permet d'aligner avec précision un dispositif de transport avec un substrat. L'invention porte aussi sur un appareil de dépôt de mince film organique. Dans l'appareil de formation de mince film organique, les substrats (4) acheminés dans la chambre sous vide (2) sont maintenus par des palettes amovibles (9) et au cours du transfert successif des substrats (4), de minces films organiques se forment par dépôt sur les substrats. Une section de retour de transfert (15) est disposée entre une position d'extraction de substrat (2b) et une position de début de dépôt (2c) dans la chambre sous vide (2) en vue de transférer la palette (9), séparée du substrat (4) à la suite du dépôt, vers la position de début du dépôt (2c) par une section supérieure d'une zone de dépôt (11). La position d'alimentation en substrat (2a) dans la chambre sous vide (2) comprend le substrat (4), un masque (6) destiné à former un motif de dépôt et un mécanisme d'alignement (8) destiné à aligner la palette (9) suivant la direction verticale.
(JA) 本発明は、設置面積が小さく、かつ、搬送体と基板の位置合わせ精度を向上させることが可能な有機薄膜蒸着方法及び有機薄膜蒸着装置を提供する。  本発明の有機薄膜形成装置は、真空槽2内において搬入された基板4を着脱自在のパレット9によって保持して順次搬送しつつ基板4上に有機薄膜の蒸着形成を行うものである。真空槽2内の基板取出位置2bと蒸着開始位置2cとの間に、蒸着終了後の基板4から離脱させたパレット9を蒸着領域11の上方を経由して蒸着開始位置2cまで搬送する搬送戻し部15を有する。真空槽2内の基板搬入位置2aには、基板4と、蒸着パターンを形成するためのマスク6と、パレット9とを上下方向から位置合わせする位置合わせ機構8を備えている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)