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1. (WO2007099658) CANON A PLASMA ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM DE CANON A PLASMA FOURNI AVEC
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/099658    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/316942
Date de publication : 07.09.2007 Date de dépôt international : 29.08.2006
CIB :
H05H 1/24 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Déposants : SHINMAYWA INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 1-1, Shinmeiwa-cho, Takarazuka-shi, Hyogo 6658550 (JP) (Tous Sauf US).
MARUNAKA, Masao; (US Seulement).
TSUCHIYA, Takayuki; (US Seulement).
TERAKURA, Atsuhiro; (US Seulement)
Inventeurs : MARUNAKA, Masao; .
TSUCHIYA, Takayuki; .
TERAKURA, Atsuhiro;
Mandataire : SUMIDA, Yoshihiro; ARCO PATENT OFFICE, 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-054603 01.03.2006 JP
Titre (EN) PLASMA GUN AND PLASMA GUN FILM FORMING APPARATUS PROVIDED WITH SAME
(FR) CANON A PLASMA ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM DE CANON A PLASMA FOURNI AVEC
(JA) プラズマガン及びそれを備えるプラズマガン成膜装置
Abrégé : front page image
(EN)A plasma gun (1) is provided with a container (72) having a plasma discharge port (70); a cathode (18) arranged inside the container (72) for generating plasma; an auxiliary anode (31) which can be arranged between the plasma discharge port (70) and the cathode (18) and can receive plasma generated by the cathode (18); and an exhaust valve (26) for exhausting and sealing the inside of the container (72). The plasma gun is also provided with a plasma discharge preventing/permitting apparatus (30) for preventing and permitting discharge of plasma, which is generated by electrical discharge from the cathode (18), from the plasma discharge port (70).
(FR)La présente invention concerne un canon à plasma (1) muni d'un contenant (72) ayant un orifice de décharge de plasma (70), une cathode (18) placée dans le contenant (72) pour générer le plasma, une anode auxiliaire (31) qui peut être agencée entre le port de décharge de plasma (70) et la cathode (18) et qui peut recevoir le plasma généré par la cathode (18), ainsi qu'une vanne d'échappement (26) pour échapper et sceller l'intérieur du contenant (72). Le canon à plasma est également muni d'un appareil de prévention/d'autorisation de décharge du plasma (30) pour empêcher et autoriser la décharge du plasma, généré par une décharge électrique de la cathode (18), à partir du port de décharge du plasma (70).
(JA)本発明のプラズマガン(1)は、プラズマ流出口(70)を有する容器(72)と、容器(72)の内部に配設され放電によりプラズマを発生するカソード(18)と、プラズマ流出口(70)とカソード(18)との間に位置可能に設けられ、カソード(18)で発生したプラズマを受けることが可能な補助アノード(31)と、容器(72)の内部を排気及び封止するための排気バルブ(26)と、を備え、カソード(18)の放電により発生するプラズマのプラズマ流出口(70)からの流出を阻止及び許容するプラズマ流出阻止/許容装置(30)と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)