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1. (WO2007098438) DISPOSITIF D'INJECTION DIRECTE DE LIQUIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/098438    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/062412
Date de publication : 30.08.2007 Date de dépôt international : 20.02.2007
CIB :
B01F 5/04 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : AVIZA TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 440 Kings Village Road, Scotts Valley, CA 95066 (US) (Tous Sauf US).
DEDONTNEY, Jay, Brian [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DEDONTNEY, Jay, Brian; (US)
Mandataire : GOLDSTEIN, Avery, N.; Gifford, Krass, Sprinkle, Anderson & Citkowski, PC, 2701 Troy Center Drive, Suite 330, Post Office Box 7021, Troy, MI 48007-7021 (US)
Données relatives à la priorité :
60/774,318 17.02.2006 US
11/676,346 19.02.2007 US
Titre (EN) DIRECT LIQUID INJECTOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INJECTION DIRECTE DE LIQUIDE
Abrégé : front page image
(EN)A device for mixing, vaporizing and communicating a precursor element in a highly conductive fashion to a remote processing environment. A supply meter admits a precursor liquid according to a piezo controlled valve, which communicates therewith for controlling flow into a mixing manifold. A vaporizer manifold in cooperation with a carrier gas supply provides a carrier gas for contemporaneous delivery into the mixing manifold. A vaporizing component having at least a heating element in communication with the mixing manifold, in cooperation with a mixing (frit) material provided in the vaporizer body, causes a phase change of the liquid precursor into a vapor output. Delivery of the vapor outlet occurs along at least one high conductance run/vent valve located downstream from the vaporizing body, typically built into the vaporizer manifold architecture, and provides for metering of the vapor into a remote process chamber.
(FR)L'invention concerne un dispositif destiné à mélanger, à vaporiser et à mettre en communication un élément précurseur de façon hautement conductrice avec un environnement de traitement distant. Un compteur d'alimentation admet un liquide précurseur sous l'action d'une valve à commande piézoélectrique communiquant avec celui-ci en vue de réguler l'écoulement entrant dans un collecteur de mélange. Un collecteur vaporiseur en coopération avec une alimentation de gaz porteur fournit un gaz porteur destiné à être délivré simultanément dans le collecteur de mélange. Un composant de vaporisation doté d'au moins un élément chauffant en communication avec le collecteur de mélange, en coopération avec un matériau de mélange (fritte) amené dans le corps du vaporiseur, provoque un changement de phase du précurseur liquide en une sortie sous forme de vapeur. La distribution de la sortie de vapeur se fait par au moins une vanne à haute conductance de passage / de ventilation située en aval du corps du vaporiseur, généralement intégrée à l'architecture du collecteur vaporiseur, et permet le comptage de la quantité de vapeur acheminée vers une chambre de traitement distante.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)