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1. (WO2007095150) PROCEDES ET APPAREIL POUR LA DIMINUTION DE PFC A L'AIDE D'UNE CHAMBRE CDO
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/095150    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/003638
Date de publication : 23.08.2007 Date de dépôt international : 09.02.2007
CIB :
B01D 53/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : LIN, Kuo-chen; .
RAOUX, Sebastien; (US).
VERMEULEN, Robbert M.; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian, M.; Dugan & Dugan, Pc, Suite 309, 245 Saw Mill River Road, Hawthorne, NY 10532 (US)
Données relatives à la priorité :
60/772,317 11.02.2006 US
60/865,347 10.11.2006 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR PFC ABATEMENT USING A CDO CHAMBER
(FR) PROCEDES ET APPAREIL POUR LA DIMINUTION DE PFC A L'AIDE D'UNE CHAMBRE CDO
Abrégé : front page image
(EN)In some aspects, a method is provided for abating perf luorocarbons (PFCs) in a gaseous waste abatement system having a pre-installed controlled decomposition oxidation (CDO) thermal reaction chamber. The method that includes (1) providing a catalyst bed within the CDO thermal reaction chamber; and (2) introducing a gaseous waste stream into the CDO thermal reaction chamber so as to expose the gaseous waste stream to the catalyst bed. Numerous other aspects are provided.
(FR)Dans certains aspects, la présente invention concerne la diminution de perfluorocarbones (PCF) dans un système de réduction des déchets gazeux doté d'une chambre de réaction thermique à oxydation de décomposition contrôlée (CDO) pré-installée. Le procédé consiste à (1) fournir un lit catalyseur dans la chambre de réaction thermique à CDO et (2) introduire un flux de déchets gazeux dans la chambre de réaction thermique à CDO pour exposer le flux de déchets gazeux au lit catalyseur. Bien d'autres aspects sont envisagés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)