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1. (WO2007095132) PROCÉDÉS ET APPAREIL PERMETTANT DE SUPPRIMER LES PFC AU MOYEN D'UNE CHAMBRE D'OXYDATION PAR DÉCOMPOSITION CONTRÔLÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/095132    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/003600
Date de publication : 23.08.2007 Date de dépôt international : 09.02.2007
CIB :
B01D 53/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : RAOUX, Sebastien; (US).
LIN, Kuo-Chen; (TW).
VERMEULEN, Robert, M.; (US).
CLARK, Daniel, O.; (US).
TSU, Stephen; (US).
MOALEM, Mehran; (US).
FOX, Allen; (US).
MCINTOSH, Monique; (US).
PUTZ, Joshua; (US).
RIESKE, Eric; (US).
LEE, Poh Soh; (SG)
Mandataire : DUGAN, Brian, M.; Dugan & Dugan, Pc, Suite 309, 245 Saw Mill River Road, Hawthorne, NY 10532 (US)
Données relatives à la priorité :
60/772,317 11.02.2006 US
60/865,347 10.11.2006 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR PFC ABATEMENT USING A CDO CHAMBER
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL PERMETTANT DE SUPPRIMER LES PFC AU MOYEN D'UNE CHAMBRE D'OXYDATION PAR DÉCOMPOSITION CONTRÔLÉE
Abrégé : front page image
(EN)In at least one aspect, a controlled decomposition oxidation (CDO) system is provided for abating perf luorocarbons (PFCs) that includes (1) an upstream portion including a first conduit adapted to convey a gaseous waste stream; (2) a thermal reaction chamber having an inlet coupled to the first conduit, a catalyst bed adapted to abate PFCs, and an outlet; and (3) a downstream portion including a second conduit having a first end coupled to the outlet of the thermal reaction chamber and having a portion, downstream from the first end, positioned proximate to the first conduit. The second conduit is adapted to convey a gaseous waste stream heated within the thermal reaction chamber to enable a transfer of heat energy from the second conduit to the first conduit so as to pre-heat the gaseous waste stream in the first conduit. Numerous other aspects are provided.
(FR)Dans au moins un aspect, l'invention concerne un système d'oxydation par décomposition contrôlée (CDO) qui permet de supprimer les perfluorocarbones (PFC). Ce système comprend (1) une partie amont comprenant un premier conduit conçu pour acheminer un flux de déchets gazeux; (2) une chambre de réaction thermique dotée d'une entrée couplée au premier conduit, d'un lit de catalyse conçu pour supprimer les PFC et d'une sortie; et (3) une partie aval comprenant un second conduit doté d'une première extrémité couplée à la sortie de la chambre de réaction thermique et comprenant une partie, en aval de la première extrémité, disposée à proximité du premier conduit. Le second conduit est conçu pour acheminer un flux de déchets gazeux dans la chambre de réaction thermique de façon à rendre possible un transfert d'énergie thermique entre le second conduit et le premier conduit afin de préchauffer le flux de déchets gazeux dans le premier conduit. L'invention concerne également de nombreux autres aspects.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)