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1. (WO2007094784) PHOTORESISTS DE VERRE MOLECULAIRE A BASE D'ADAMANTANE POUR LITHOGRAPHIE SUB-200 NM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/094784    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/005378
Date de publication : 23.08.2007 Date de dépôt international : 16.02.2006
CIB :
G03C 1/73 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G03F 7/30 (2006.01)
Déposants : CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. [US/US]; 20 Thornwood Drive, Suite 105, Ithaca, NY 14850 (US) (Tous Sauf US).
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. [JP/JP]; 2640 Sue, Yamaguchi, Ichihara, Chiba, 299-0107 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Shinji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OBER, Christopher, K. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Shinji; (JP).
OBER, Christopher, K.; (US)
Mandataire : HULL, Michael, R.; MILLER, MATTHIAS & HULL, One North Franklin Street, Suite 2350, Chicago, Illinois 60606 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ADAMANTANE BASED MOLECULAR GLASS PHOTORESISTS FOR SUB-200 NM LITHOGRAPHY
(FR) PHOTORESISTS DE VERRE MOLECULAIRE A BASE D'ADAMANTANE POUR LITHOGRAPHIE SUB-200 NM
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are glass photoresists generated from adamantane derivatives containing acetal and/or ester moieties as novel high-performance photoresist materials. Some of the disclosed adamantane-based glass resists have a tripodal structure and other disclosed adamantane-based glass resists include one or more cholic groups. The disclosed adamantane derivatives can be synthesized from starting materials which are commercially available. By way of example only, one of many disclosed amorphous glass photoresists has the following structure: GR-5 Adamantane-l,3,5-triyltris(oxymethylene) tricholate.
(FR)L'invention concerne des photorésists de verre issus de dérivés d'adamantane contenant des fonctions acétal et/ou ester en tant que nouveaux matériaux de photorésists hautes performances. Certains des résists de verre à base d'adamantane présentent une structure tripode et d'autres comprennent un ou plusieurs groupements choliques. Les dérivés d'adamantane décrits peuvent être synthétisés à partir de matériaux de départ disponibles dans le commerce. A titre d'exemple uniquement, un des nombreux photorésists de verre amorphe décrits présente la structure suivante : GR-5 Adamantane-l,3,5-triyltris(oxyméthylène) tricholate.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)