WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2007091993) dispositif a plasma A microcavité d'extraction de plasma et procEDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/091993    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/003289
Date de publication : 16.08.2007 Date de dépôt international : 31.01.2006
CIB :
H01J 61/04 (2006.01)
Déposants : THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS [US/US]; 506 South Wright Street, 352 Henry Administration Building, Urbana, IL 61801 (US) (Tous Sauf US).
EDEN, J., Gary [US/US]; (US) (US Seulement).
PARK, Sung-Jin [KR/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : EDEN, J., Gary; (US).
PARK, Sung-Jin; (US)
Mandataire : FALLON, Steven, P.; Greer, Burns & Crain, Ltd., 300 S. Wacker Drive-suite 2500, Chicago, IL 60606 (US)
Données relatives à la priorité :
60/648,504 31.01.2005 US
Titre (EN) PLASMA EXTRACTION MICROCAVITY PLASMA DEVIVE AND METHOD
(FR) dispositif a plasma A microcavité d'extraction de plasma et procEDE
Abrégé : front page image
(EN)A preferred embodiment plasma extraction microcavity plasma device generates a spatially-confined plasma in a gas or vapor, or gas and vapor mixture, including, for example, atmospheric pressure air. A microcavity plasma device is excited by a potential applied between excitation electrodes (16, 18, 42) of the microcavity plasma device, and a probe electrode (20) proximate the microcavity is maintained at the potential of one of the electrodes, extracts plasma from the microcavity plasma device. In preferred embodiments, the excitation electrodes of the microcavity plasma device are isolated from the plasma by dielectric (22, 24, 26), and time-varying (AC, RF, bipolar or pulsed DC, etc.) potential excites a plasma that is then extracted by the probe electrode. In alternate embodiments, the microcavity plasma device has an excitation electrode that contacts the plasma. A DC potential excites a plasma that is then extracted by the probe electrode.
(FR)Selon un mode de réalisation préféré de la présente invention, le dispositif à plasma à microcavité d'extraction de plasma génère un plasma confiné dans l'espace dans un gaz ou de la vapeur, ou un mélange de gaz et de vapeur comprenant, par exemple, de l'air sous pression atmosphérique. Un dispositif à plasma à microcavité est excité par un potentiel appliqué entre des électrodes d'excitation (16, 18, 42) dudit dispositif, et une électrode sonde (20) à proximité de la microcavité est maintenue au potentiel de l'une des électrodes, extrait le plasma dudit dispositif. Dans des modes de réalisation préférés, les électrodes d'excitation dudit dispositif sont isolées du plasma par un diélectrique (22, 24, 26), et un potentiel variant dans le temps (CA, HF, CC bipolaire ou pulsé, etc.) excite un plasma qui est ensuite extrait par l'électrode sonde. Dans des variantes de mode de réalisation, ledit dispositif comporte une électrode d'excitation qui entre en contact avec le plasma. Un potentiel CC excite un plasma qui est ensuite extrait par l'électrode sonde.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)