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1. (WO2007088940) APPAREIL DE REDUCTION DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/088940    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/051722
Date de publication : 09.08.2007 Date de dépôt international : 01.02.2007
CIB :
H01L 21/302 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), B01D 53/46 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo1078481 (JP) (Tous Sauf US).
TOZAWA, Shigeki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MURAKI, Yusuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IINO, Tadashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TOZAWA, Shigeki; (JP).
MURAKI, Yusuke; (JP).
IINO, Tadashi; (JP)
Mandataire : TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F 1-7-20 Hirakawacho Chiyoda-ku, Tokyo 1020093 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-025660 02.02.2006 JP
Titre (EN) PRESSURE REDUCING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE REDUCTION DE PRESSION
(JA) 減圧処理装置
Abrégé : front page image
(EN)In an exhaust gas treatment mechanism (44), a dry pump (83) and a trap apparatus (87) are arranged in this order from the upstream to the downstream on an exhaust path (85) connected to a chamber (40) of COR treatment equipment (5). Exhaust gas heated to a temperature of, for instance, 60°C-100°C by an electrothermal heater (93) passes through the dry pump (83), and reaction products are deposited and captured at the trap apparatus (87) under an atmospheric pressure.
(FR)Dans le cadre de la présente invention, dans un mécanisme de traitement de gaz d'échappement (44), une pompe sèche (83) et un appareil de captage (87) sont agencés dans cet ordre de l'amont vers l'aval sur un passage d'échappement (85) raccordé à une chambre (40) d'équipement de traitement COR (5). Le gaz d'échappement chauffé jusqu'à une température de, par exemple, 60 °C à 100 °C par un élément de chauffage électrothermique (93) passe à travers la pompe sèche (83), et des produits de réaction sont déposés et captés au niveau de l'appareil de captage (87) sous une pression atmosphérique.
(JA) 排気ガス処理機構44は、COR処理装置5のチャンバー40に接続された排気路85上に、上流側から下流側へ向けて、ドライポンプ83およびトラップ装置87がこの順に配設されている。電熱ヒーター93により例えば60°C~100°Cの温度に加熱された排気ガスは、ドライポンプ83を通過し、大気圧状態のトラップ装置87において反応生成物の析出と捕集が行なわれる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)