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1. (WO2007088789) PROCEDE DE MESURE DE LA FORME D'UNE SURFACE ET DISPOSITIF L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/088789    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/051268
Date de publication : 09.08.2007 Date de dépôt international : 26.01.2007
CIB :
G01B 11/24 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 2-12-1 Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 1528550 (JP) (Tous Sauf US).
Toray Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; Nihonbashimuromachi Building, 3-16, Nihonbashihongoku-cho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030021 (JP) (Tous Sauf US).
SUGIYAMA, Masashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OGAWA, Hidemitsu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KITAGAWA, Katsuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Kazuyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SUGIYAMA, Masashi; (JP).
OGAWA, Hidemitsu; (JP).
KITAGAWA, Katsuichi; (JP).
SUZUKI, Kazuyoshi; (JP)
Mandataire : SUGITANI, Tsutomu; Nishitenma No.11 Matsuya Bldg., 10-8, Nishitenma 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300047 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-024825 01.02.2006 JP
Titre (EN) SURFACE SHAPE MEASURING METHOD AND DEVICE USING THE SAME
(FR) PROCEDE DE MESURE DE LA FORME D'UNE SURFACE ET DISPOSITIF L'UTILISANT
(JA) 表面形状の測定方法およびこれを用いた装置
Abrégé : front page image
(EN)By arranging a reference surface in an inclined posture at an arbitrary angle with respect to the light advance direction, interference fringes are generated by reflected lights returning through the same optical path from the measurement surface and the reference surface. An intensity value of each pixel of the interference fringes is imaged by a CCD camera. A CPU uses the intensity value of each pixel and an intensity value of a pixel in its vicinity for each pixel to be calculated by using the expression for obtaining the interference fringes so as to obtain a phase of interference fringe waveform of each pixel and convert it into height, thereby measuring the surface shape while assuming that the DC component, the AC amplitude, and the phase of the interference fringe waveform contained in each pixel are identical.
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure de la forme d'une surface, comprenant les étapes consistant à incliner une surface de référence selon un angle arbitraire par rapport à la direction de propagation de la lumière ; à générer des franges d'interférence par les rayons réfléchis suivant le même trajet optique par la surface à mesurer et la surface de référence ; à utiliser une caméra à CCD pour saisir l'image d'une valeur d'intensité de chaque pixel des franges d'interférence ; à utiliser une unité centrale de traitement (CPU) pour calculer, pour chaque pixel, une phase d'une onde de forme de franges d'interférence à partir de la valeur d'intensité du pixel et de la valeur d'intensité d'un pixel voisin, et pour convertir cette phase en une hauteur et mesurer ainsi la forme de la surface en supposant que la composante continue, l'amplitude de la composante alternative et la phase de la forme d'onde des franges d'interférence sont identiques.
(JA) 参照面を光の進行方向に対して任意角度の斜め傾斜姿勢で配備することにより、測定対象面と参照面から同一光路を戻る反射光により干渉縞を発生させる。この干渉縞の各画素の強度値をCCDカメラで撮像し、CPUが、干渉縞波形を求める表現式を利用して算出対象画素毎に、各画素の強度値とその近隣にある画素の強度値とを利用し、各画素に含まれる干渉縞波形の直流成分、交流振幅、および位相が等しいと仮定して各画素の干渉縞波形の位相を求め、高さに換算することで表面形状を測定する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)