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1. (WO2007088542) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ÉVALUATION DE VARIATION DANS UN PARAMÈTRE DE MOTIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/088542    N° de la demande internationale :    PCT/IL2007/000130
Date de publication : 09.08.2007 Date de dépôt international : 01.02.2007
CIB :
G06K 9/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS ISRAEL LIMITED [IL/IL]; 9 Oppenheimer street, 76705 Rehovot (IL) (Tous Sauf US).
BEN YISHAI, MICHAEL [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
WAGNER, Mark [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
BARTOV, Avishai [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
GREENBERG, Gad [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
SHOVAL, Lior [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
GVIRTZER, Ophir [IL/IL]; (IL) (US Seulement)
Inventeurs : BEN YISHAI, MICHAEL; (IL).
WAGNER, Mark; (IL).
BARTOV, Avishai; (IL).
GREENBERG, Gad; (IL).
SHOVAL, Lior; (IL).
GVIRTZER, Ophir; (IL)
Mandataire : RECHES, Oren; 13 Hadafna St., Pob 913, 42823 Zoran (IL)
Données relatives à la priorité :
06/764,514 01.02.2006 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING A VARIATION IN A PARAMETER OF A PATTERN
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ÉVALUATION DE VARIATION DANS UN PARAMÈTRE DE MOTIF
Abrégé : front page image
(EN)A method and system are presented for evaluating a variation of a parameter of a pattern , the method includes: processing data indicative of an aerial intensity image of at least a portion of a patterned article, and determining values of a certain functional of the aerial image intensity for predetermined regions within said at least portion of the patterned article, said values of the aerial image intensity functional being indicative of a variation of at least one parameter of the pattern within said at least portion of the patterned article or of a variation of at least one parameter of a pattern manufactured by utilizing the patterned article.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système d'évaluation de variation d'un paramètre de motif. Ledit procédé consiste: à traiter des données indiquant l'intensité d'une image aérienne d'au moins une partie d'article à motifs, et à déterminer des valeurs d'une certaine fonction d'intensité d'image aérienne pour des régions prédéterminées à l'intérieur de la partie d'article à motifs, lesdites valeurs indiquant une variation d'au moins un paramètre du motif à l'intérieur de la partie d'article à motifs ou une variation d'au moins un paramètre de motif produit à l'aide de l'article à motifs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)