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1. WO2007088182 - SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE PRODUITS CHIMIQUES À IMPULSIONS

Numéro de publication WO/2007/088182
Date de publication 09.08.2007
N° de la demande internationale PCT/EP2007/050965
Date du dépôt international 01.02.2007
CIB
H01L 21/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
H01L 21/6708
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67017Apparatus for fluid treatment
67063for etching
67075for wet etching
6708using mainly spraying means, e.g. nozzles
Déposants
  • KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL]/[NL] (AllExceptUS)
  • DUBREUIL, Olivier [FR]/[FR] (UsOnly)
  • KORDIC, Srdjan [NL]/[FR] (UsOnly)
  • CARAMBERIS, Theodore [US]/[FR] (UsOnly)
Inventeurs
  • DUBREUIL, Olivier
  • KORDIC, Srdjan
  • CARAMBERIS, Theodore
Mandataires
  • EISENFÜHR, SPEISER & PARTNER
Données relatives à la priorité
06300098.801.02.2006EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PULSED CHEMICAL DISPENSE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE PRODUITS CHIMIQUES À IMPULSIONS
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a cost saving liquid-treatment unit (100). According to the invention, a control unit (152), which is connected to an input port of a control valve (118, 120, 122), is adapted to set, in dependence on the evaporation rate of a treatment liquid on the substrate at the given or desired temperature of the substrate and/or at the given or desired pressure of a gaseous ambient atmosphere at the substrate, a number of dispense pulses to be applied to the substrate for the liquid treatment, a respective pulse duration of individual dispense pulses, and respective dispense-interruption time spans between the individual dispense pulses. This way, the use of treatment liquid is reduced to a minimum amount, thus reducing costs for providing and cleaning treatment liquid.
(FR)
La présente invention concerne une unité économique de traitement de liquide (100). Selon l'invention, une unité de commande (152), qui est connectée à un orifice d'entrée d'une soupape de commande (118, 120, 122), est apte à l'établissement d'une pluralité d'impulsion de distribution à appliquer au substrat pour le traitement de liquide, d'une durée d'impulsion respective d'impulsions de distribution individuelles, et de laps de temps respectifs d'interruptions de distribution entre les impulsions de distribution en fonction d'un taux d'évaporation d'un liquide de traitement sur le substrat à la température donnée ou souhaitée du substrat et/ou à la pression donnée ou souhaitée d'une atmosphère ambiante gazeuse au niveau du substrat. Ainsi, l'utilisation du liquide de traitement est réduit à une quantité minimale, réduisant ainsi les coûts de fourniture et de nettoyage de liquide de traitement.
Également publié en tant que
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