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1. (WO2007087196) CORPS DE CHAUFFE EN CERAMIQUE AMELIORE POUR LE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/087196    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/001137
Date de publication : 02.08.2007 Date de dépôt international : 17.01.2007
CIB :
B32B 9/00 (2006.01), H05B 6/10 (2006.01)
Déposants : COMPONENT RE-ENGINEERING COMPANY, INC. [US/US]; 1600 Wyatt Drive #11, Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
SANDVIK OSPREY LIMITED [--/GB]; Red Jacket Works, Milland Road, Neath SA11 1NJ West Glamorgan (GB) (Tous Sauf US).
ELLIOT, Brent [US/US]; (US) (US Seulement).
BALMA, Frank [US/US]; (US) (US Seulement).
VEYTSER, Alexander [US/US]; (US) (US Seulement).
OGILVY, Andrew Josef Widawski [--/GB]; (GB) (US Seulement).
FORREST, James Burnett [--/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : ELLIOT, Brent; (US).
BALMA, Frank; (US).
VEYTSER, Alexander; (US).
OGILVY, Andrew Josef Widawski; (GB).
FORREST, James Burnett; (GB)
Mandataire : HAYDEN, Robert; Carr & Ferrell LLP, 2200 Geng Road, Palo Alto, California 94303 (US)
Données relatives à la priorité :
60/761,737 23.01.2006 US
11/509,899 24.08.2006 US
Titre (EN) ADVANCED CERAMIC HEATER FOR SUBSTRATE PROCESSING
(FR) CORPS DE CHAUFFE EN CERAMIQUE AMELIORE POUR LE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)Susceptors are provided that employ layers of CTE-matching materials to reduce the stresses that otherwise lead to cracking and failure. Exemplary CTE-matching materials include metal alloys of aluminum and silicon that can be tailored to specific CTE values by adjusting the ratio of the elements. An exemplary susceptor comprises a CTE-matching material that accommodates the differences in the CTEs of a ceramic material and a thermal barrier layer disposed on opposite sides of the CTE-matching material. Methods are also provided for forming susceptors. These methods comprise assembling the components and bonding the assembly together, such as by diffusion bonding, to produce a susceptor that is a monolithic body.
(FR)L’invention concerne des suscepteurs qui utilisent des matériaux à coefficient de dilatation thermique (CTE) approprié pour réduire les contraintes qui autrement provoquent des craquelures et des défaillances. Des matériaux à CTE approprié incluent des alliages métalliques d’aluminium et de silicium pouvant être personnalisés pour obtenir des valeurs de CTE spécifiques en ajustant le rapport des éléments. Un exemple de suscepteur comprend un matériau à CTE approprié qui compense les différences entre les CTE d’un matériau céramique et d’une couche barrière thermique disposée du côté opposé au matériau à CTE approprié. L’invention concerne également des procédés pour la fabrication de suscepteurs. Ces procédés comprennent l’assemblage des composants et leur liaison, par exemple par liaison par diffusion, pour produire un suscepteur de corps monolithique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)