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1. (WO2007087126) CATHODE POUR UN SYSTEME DE PULVERISATION SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/087126    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/000140
Date de publication : 02.08.2007 Date de dépôt international : 04.01.2007
CIB :
H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : PPG INDUSTRIES OHIO, INC. [US/US]; 3800 West 143rd Street, Cleveland, OH 44111 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : WAGNER, Andrew V.; (US)
Mandataire : SIMINERIO, Andrew C.; PPG INDUSTRIES, INC., One PPG Place, Intellectual Property Dept., One PPG Place, Pittsburgh, PA 15272 (US)
Données relatives à la priorité :
11/331,288 12.01.2006 US
Titre (EN) CATHODE FOR A VACUUM SPUTTERING SYSTEM
(FR) CATHODE POUR UN SYSTEME DE PULVERISATION SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(EN)A novel cathode for use in a vacuum sputtering system is disclosed. The cathode includes a cathode core and a first removable portion and a second removable portion on the cathode core.
(FR)L'invention concerne une cathode novatrice destinée à être utilisée dans un système de pulvérisation sous vide. La cathode inclut un coeur de cathode, une première partie amovible et une seconde partie amovible sur le noyau de cathode.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)