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1. (WO2007086557) DISPOSITIF DE SUPPORT D’ÉLÉMENTS OPTIQUES, PROCÉDÉ D’AJUSTEMENT DE LA POSITION D’ÉLÉMENTS OPTIQUES ET DISPOSITIF D’EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/086557    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/051377
Date de publication : 02.08.2007 Date de dépôt international : 29.01.2007
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3 Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
NISHIKAWA, Jin [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NISHIKAWA, Jin; (JP)
Mandataire : OMORI, Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2140014 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-020576 30.01.2006 JP
Titre (EN) OPTICAL MEMBER HOLDING APPARATUS, METHOD FOR ADJUSTING POSITION OF OPTICAL MEMBER, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE SUPPORT D’ÉLÉMENTS OPTIQUES, PROCÉDÉ D’AJUSTEMENT DE LA POSITION D’ÉLÉMENTS OPTIQUES ET DISPOSITIF D’EXPOSITION
(JA) 光学部材保持装置、光学部材の位置調整方法、及び露光装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an optical member holding apparatus which can hold a plurality of optical members in a manner that the relative positions of the optical members can be easily adjusted, even when the optical members of different two optical systems mixedly exist in a common lens tube. The optical member holding apparatus holds a mirror (M4) in a projection optical system and a mirror (M) in a lighting optical system. The optical member holding apparatus is provided with a lens tube unit (12C), an inner ring (21) for holding the mirror (M4), a holding member (32) for holding the mirror (M), supporting plates (25C, 31) attached to the lens tube unit (12C), and hold supporting mechanisms (13D, 13M), which are attached to the supporting plates (25C, 31) and adjust the relative positions of the mirror (M4) and the mirror (M).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de support d’éléments optiques qui peut porter une pluralité d’éléments optiques de sorte que les positions relatives des éléments optiques peuvent être ajustées facilement, même lorsque les éléments optiques de deux systèmes optiques différents sont présents ensemble dans un tube d’objectif commun. Le dispositif de support d’éléments optiques comporte un miroir (M4) dans un système de projection optique et un miroir (M) dans un système d'éclairage optique. Le dispositif de support d’éléments optiques comporte une unité de tube d’objectif (12C), une bague interne (21) servant à maintenir le miroir (M4), un élément de support (32) servant à maintenir le miroir (M), des plaques de support (25C, 31) fixées à l’unité de tube d’objectif (12C), et des mécanismes de support de maintien (13D, 13M), qui sont fixés aux plaques de support (25C, 31) et ajustent les positions relatives du miroir (M4) et du miroir (M).
(JA) 異なる2つの光学系の光学部材が共通の鏡筒内に混在するような場合にも、複数の光学部材をそれらの相対位置が容易に調整できるように保持できる光学部材保持装置である。投影光学系中のミラー(M4)と照明光学系中のミラー(M)とを保持する光学部材保持装置であって、鏡筒ユニット(12C)と、ミラー(M4)を保持するインナーリング(21)と、ミラー(M)を保持する保持部材(32)と、鏡筒ユニット(12C)に取り付けられた支持板(25C,31)と、支持板(25C,31)に取り付けられ、ミラー(M4)とミラー(M)との相対位置を調整する保持調整機構(13D,13M)とを有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)