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1. (WO2007086212) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM DE VERRE FILÉ MULTICOUCHE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/086212    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/325260
Date de publication : 02.08.2007 Date de dépôt international : 19.12.2006
CIB :
H01L 21/312 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. [JP/JP]; 150, Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2110012 (JP) (Tous Sauf US).
TAKEUCHI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAKEUCHI, Yoshiyuki; (JP)
Mandataire : SHOBAYASHI, Masayuki; Takase Bldg., 25-8, Higashi-ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-019816 27.01.2006 JP
Titre (EN) METHOD OF FORMING MULTILAYERED SPIN-ON-GLASS FILM
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM DE VERRE FILÉ MULTICOUCHE
(JA) 多層スピンオンガラス膜の形成方法
Abrégé : front page image
(EN)An easy method of forming a satisfactory multilayered spin-on-glass film. When a spin-on-glass material is deposited to form a multilayer structure, the method prevents the SOG material to be applied to a lower layer film from causing a coating failure. The method comprises conducting the deposition of a spin-on-glass material comprising a siloxane polymer on a base two or more times to form a multilayered spin-on-glass film comprising at least a lower layer film and an upper layer film. In this method, after the lower layer film is formed on the base, the surface of this lower layer film is brought into contact with a hydrophilizing solution to thereby conduct a hydrophilizing treatment. Thereafter, the upper layer film is superposed thereon to form a multilayered spin-on-glass film.
(FR)L’invention concerne un procédé de formation de film de verre filé multicouche satisfaisant. Lorsqu’un matériau de verre filé est déposé pour constituer une structure multicouche, le procédé empêche le matériau de verre filé à appliquer sur un film de couche inférieure de provoquer un défaut d’enduction. Le procédé consiste à réaliser la déposition d'un matériau de verre filé comprenant un polymère siloxane sur une base deux fois ou plus pour constituer un film de verre filé multicouche comprenant au moins un film de couche inférieure et un film de couche supérieure. Selon ce procédé, après la formation du film de couche inférieure sur la base, la surface de ce film de couche inférieure est mise au contact d’une solution hydrophile pour ainsi réaliser un traitement hydrophile. Ensuite, le film de couche supérieure est superposé sur celle-ci pour constituer un film de verre filé multicouche.
(JA) スピンオンガラス材料を多層積層する場合において、下層膜上に塗布されるSOG材料の塗布不良を発生させることなく、簡便で良好な多層スピンオンガラス膜の形成方法を提供する。  本発明は、基板上に、シロキサン系高分子化合物からなるスピンオンガラス材料を複数回積層し、少なくとも下層膜と上層膜とを備える多層スピンオンガラスの形成方法であって、基板上に下層膜を形成した後、この下層膜表面を親水化溶液に接触させることにより親水化処理を行い、その後に、前記上層膜を積層する多層スピンオンガラス膜の形成方法である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)