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1. (WO2007085928) APPAREIL PERMETTANT DE DISTRIBUER DE MULTIPLES PRECURSEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/085928    N° de la demande internationale :    PCT/IB2007/000137
Date de publication : 02.08.2007 Date de dépôt international : 19.01.2007
CIB :
C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01)
Déposants : L'AIR LIQUIDE-SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR/FR]; 75 quai d'Orsay, F-75321 Paris Cedex 07 (FR) (Tous Sauf US).
ZNAMENSKY, Dmitry [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ZNAMENSKY, Dmitry; (US)
Données relatives à la priorité :
60/762,987 27.01.2006 US
11/621,419 09.01.2007 US
Titre (EN) MULTIPLE PRECURSOR DISPENSING APPARATUS
(FR) APPAREIL PERMETTANT DE DISTRIBUER DE MULTIPLES PRECURSEURS
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for dispensing multiple precursors to a manufacturing tool includes a fluidic manifold having a plurality of interconnected sub-manifolds, a plurality of tanks, each tank containing a different precursor, and wherein each of the sub-manifolds is connected to one of the tanks. A system for dispensing multiple precursors to a manufacturing tool includes a multiple precursor dispenser having a fluidic manifold and a plurality of tanks, each tank containing a different precursor and connected to a different sub-manifold of the fluidic manifold, the sub-manifolds being interconnected, a manufacturing tool fluidic processor having a plurality of canisters, each canister containing a different precursor, wherein a first dispenser tank communicates with a first tool canister having the same precursor, and wherein a second dispenser tank communicates with a second tool canister having the same precursor. Related methods are also described herein.
(FR)La présente invention concerne un appareil permettant de distribuer de multiples précurseurs à un outil de fabrication, qui comprend un collecteur de fluide doté d'une pluralité de sous-collecteurs reliés entre eux, une pluralité de réservoirs, contenant chacun un précurseur différent, chaque sous-collecteur étant relié à l'un des réservoirs. Un système permettant de distribuer de multiples précurseurs destinés à un outil de fabrication comprend un distributeur de précurseurs multiples possédant : un collecteur de fluide et une pluralité de réservoirs, contenant chacun un précurseur différent et reliés à un sous-collecteur différent du collecteur de fluide, les sous-collecteurs étant reliés entre eux ; et un dispositif de traitement de fluides d'outil de fabrication équipé d'une pluralité de cartouches, contenant chacune un précurseur différent, dans lequel un premier réservoir de distribution communique avec une première cartouche d'outil comprenant le même précurseur et un second réservoir de distribution communique avec une seconde cartouche d'outil contenant le même précurseur. L'invention porte aussi sur des procédés correspondants.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)