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1. (WO2007061957) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT DE COMMANDER LA POSITION D'UN PISTON MECANIQUE DANS UNE POMPE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/061957    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/044907
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 20.11.2006
CIB :
F04B 49/06 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 LYMAN BLVD., Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
GONNELLA, George [US/US]; (US) (US Seulement).
CEDRONE, James [US/US]; (US) (US Seulement).
GASHGAEE, Iraj [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GONNELLA, George; (US).
CEDRONE, James; (US).
GASHGAEE, Iraj; (US)
Mandataire : SCHUSTER, Katharina, W.; SPRINKLE IP LAW GROUP, 1301 W. 25TH STREET, SUITE 408, Austin, TX 78705 (US)
Données relatives à la priorité :
PCT/US2005/042127 21.11.2005 US
60/741,660 02.12.2005 US
60/841,725 01.09.2006 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR POSITION CONTROL OF A MECHANICAL PISTON IN A PUMP
(FR) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT DE COMMANDER LA POSITION D'UN PISTON MECANIQUE DANS UNE POMPE
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the systems and methods disclosed herein utilize a brushless DC motor (BLDCM) to drive a singie-stage or a multi-stage pump in a pumping system for real time, smooth motion, and extremely precise and repeatable position control over fluid movements and dispense amounts, useful in semiconductor manufacturing. The BLDCM may employ a position sensor for real time position feedback to a processor executing a custom field-oriented control scheme. Embodiments of the invention can reduce heat generation without undesirably compromising the precise position control of the dispense pump by increasing and decreasing, via a custom control scheme, the operating frequency of the BLDCM according to the criticality of the underlying function(s). The control scheme can run the BLDCM at very low speeds while maintaining a constant velocity, which enables the pumping system to operate in a wide range of speeds with minimal variation, substantially increasing dispense performance and operation capabilities.
(FR)Des modes de réalisation des systèmes et des procédés selon l'invention utilisent un moteur CC sans balais (BLDCM) pour entraîner une pompe à étage unique ou à plusieurs étages dans un système de pompage, afin de commander la position de mouvements de fluides et de quantités à distribuer qui sont utiles dans la fabrication de micro-processeurs, de manière répétée et extrêmement précise, en temps réel et par déplacement progressif. Le BLDCM peut utiliser un capteur de position pour agir par rétroaction en temps réel sur la position d'un processeur exécutant un programme de commande sur mesure à orientation de champ. Des modes de réalisation de l'invention permettent de réduire la production de chaleur sans compromettre de manière non désirable la commande de position précise de la pompe de distribution en augmentant et en diminuant, via un programme de commande sur mesure, la fréquence de fonctionnement du BLDCM en fonction du caractère critique de la(des) fonction(s) sous-jacente(s). Le programme de commande peut exploiter le BLDCM à des vitesses très faibles tout en maintenant une vélocité constante, ce qui permet au système de pompage de fonctionner dans une plage de vitesse étendue avec une variation minimale, et par conséquent, d'augmenter considérablement les performances de distribution et les capacités de fonctionnement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)