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1. (WO2007061388) PROCEDE DE DETECTION DE GAUCHISSEMENT DANS UN SUBSTRAT DE CIRCUITS INTEGRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/061388    N° de la demande internationale :    PCT/SG2006/000366
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 28.11.2006
CIB :
G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : ROKKO SYSTEMS PTE LTD [SG/SG]; 18 Kaki Bukit Road 3, #02-01 Entrepreneur Business Centre, Singapore 415978 (SG) (Tous Sauf US).
SHEN, Xue Fang [CN/SG]; (SG) (US Seulement).
LIM, Chong Chen [MY/SG]; (SG) (US Seulement).
BAEK, Seung Ho [KR/SG]; (SG) (US Seulement)
Inventeurs : SHEN, Xue Fang; (SG).
LIM, Chong Chen; (SG).
BAEK, Seung Ho; (SG)
Mandataire : ENGLISH, Matthew; Lloyd Wise, Tanjong Pagar, P.O. Box 636, Singapore 910816 (SG)
Données relatives à la priorité :
200507704-5 28.11.2005 SG
Titre (EN) DETECTION OF WARP IN AN IC SUBSTRATE
(FR) PROCEDE DE DETECTION DE GAUCHISSEMENT DANS UN SUBSTRAT DE CIRCUITS INTEGRES
Abrégé : front page image
(EN)A method and system thereof for inspecting integrated circuit substrates, in which fiducial marks on the substrate are monitored to measure the extent of warping (80) of the substrate. The method and system provides the possibility of having early detection of substrate warping and thereby improving overall units per hour (UPH) of a manufacturing process.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système associés pour inspecter des substrats de circuits intégrés. Des marques de repère situées sur le substrat sont surveillées pour mesurer le degré de gauchissement (80) du substrat. Le procédé et le système de l'invention permettent d'effectuer une détection précoce d'un gauchissement de substrat, afin d'améliorer le rendement global par heure (UPH) d'un procédé de fabrication.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)