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1. (WO2007061116) ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/061116    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/323734
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 28.11.2006
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
IKEDA, Gaku [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OSADA, Keiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAKANO, Kunio [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IKEDA, Gaku; (JP).
OSADA, Keiji; (JP).
TAKANO, Kunio; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323 Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-342433 28.11.2005 JP
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
(FR) ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置
Abrégé : front page image
(EN)When a wafer (W101) to be returned from a second cluster (12) to a first cluster (10) is delivered to a pass area (PA), a vacuum transport robot (RB1) in the first cluster (10) performs serial transportation in the first cluster (10) preferentially while keeping the wafer (W101) waiting at the pass area (PA). Subsequently, the vacuum transport robot (RB1) receives the wafer (W101) existing in the pass area (PA) by the other arm through pick and place operation under a state where the wafer (W104) to be sent from the first cluster (10) to the second cluster (12) is held by one arm and delivers the wafer (W104) to the pass area (PA) instead by one arm. According to the procedure, throughput of continuous processing employing a plurality of process modules of two clusters (multichamber units)(10,12) is enhanced as much as possible.
(FR)Selon l’invention, lorsqu’une galette (W101) à retourner d’une seconde grappe (12) à une première grappe (10) est acheminée vers une zone de passage (PA), un robot de transport à dépression (RB1) dans la première grappe (10) réalise un transport en série dans la première grappe (10) de préférence en maintenant la galette (W101) en attente au niveau de la zone de passage (PA). Ensuite, le robot de transport à dépression (RB1) reçoit la galette (W101) existant dans la zone de passage (PA) par un bras par une opération de préhension et de placement de telle sorte que la galette (W104) à envoyer de la première grappe (10) à la seconde grappe (12) est maintenue par un autre bras et achemine la galette (W104) vers la zone de passage (PA) par un bras à la place. Selon la procédure, le rendement d’un traitement continu employant une pluralité de modules de processus de deux grappes (unités multichambres)(10,12) est amélioré autant que faire se peut.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)