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1. (WO2007060867) DISPOSITIF D’INTRODUCTION DE MICRO-ONDES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/060867    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/322749
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 15.11.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.09.2007    
CIB :
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
TIAN, Caizhong [CN/JP]; (JP) (US Seulement).
YUASA, Tamaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NOZAWA, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TIAN, Caizhong; (JP).
YUASA, Tamaki; (JP).
NOZAWA, Toshihisa; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-340828 25.11.2005 JP
Titre (EN) MICROWAVE INTRODUCTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’INTRODUCTION DE MICRO-ONDES
(JA) マイクロ波導入装置
Abrégé : front page image
(EN)A microwave introduction device includes a microwave generator for generating microwaves of a predetermined frequency, a mode converter for converting the microwaves into a predetermined amplitude mode, a flat antenna member arranged toward a predetermined space, and a coaxial waveguide connecting the mode converter and the flat antenna member for propagation of the microwaves. The coaxial waveguide has a central conductor formed into a cylindrical shape having an inner diameter D1 not smaller than a first predetermined value and an outer conductor also formed into a cylindrical form. The ratio r1/r2 of the radius r1 of the inner diameter of the outer conductor against the radius r2 of the outer diameter of the central conductor is maintained at a second predetermined value. The outer conductor has an inner diameter D2 not greater than the a third predetermined value.
(FR)Le dispositif d’introduction de micro-ondes selon l'invention comprend un générateur de micro-ondes servant à générer des micro-ondes de fréquence prédéterminée, un convertisseur de mode servant à convertir les micro-ondes en un mode d'amplitude prédéterminé, un élément d'antenne plat disposé vers un espace prédéterminé, et un guide d'ondes coaxial connectant le convertisseur de mode et l'élément d'antenne plat pour la propagation des micro-ondes. Le guide d’onde coaxial comporte un conducteur central de forme cylindrique présentant un diamètre interne D1 supérieur ou égal à une première valeur prédéterminée et un conducteur externe de forme également cylindrique. Le rapport r1/r2 du rayon r1 du diamètre interne du conducteur extérieur sur le rayon r2 du diamètre externe du conducteur central est maintenu à une seconde valeur prédéterminée. Le conducteur externe présente un diamètre interne D2 inférieur ou égal à une troisième valeur prédéterminée.
(JA) 本発明は、所定の周波数のマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記マイクロ波を所定の振動モードに変換するモード変換器と、所定の空間に向けて設けられた平面アンテナ部材と、前記モード変換器と前記平面アンテナ部材とを連結して前記マイクロ波を伝播する同軸導波管と、を備えたマイクロ波導入装置において、前記同軸導波管の中心導体は、筒状に形成されており、前記中心導体の内径D1は、第1の所定値以上であり、前記同軸導波管の外側導体も、筒状に形成されており、前記外側導体の内径の半径r1と前記中心導体の外径の半径r2との比r1/r2が、第2の所定値に維持されており、前記外側導体の内径D2は、第3の所定値以下であることを特徴とするマイクロ波導入装置である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)