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1. (WO2007060793) ÉLÉMENT MICROÉLECTROMÉCANIQUE, ET COMMUTATEUR ÉLECTROMÉCANIQUE L’UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/060793    N° de la demande internationale :    PCT/JP2006/320342
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 11.10.2006
CIB :
H01H 1/04 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H01H 1/06 (2006.01)
Déposants : MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (Tous Sauf US).
NAITO, Yasuyuki; (US Seulement)
Inventeurs : NAITO, Yasuyuki;
Mandataire : ICHIKAWA, Toshimitsu; Eikoh Patent Office, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2005-338922 24.11.2005 JP
Titre (EN) MICROELECTROMECHANICAL ELEMENT, AND ELECTROMECHANICAL SWITCH USING THE SAME
(FR) ÉLÉMENT MICROÉLECTROMÉCANIQUE, ET COMMUTATEUR ÉLECTROMÉCANIQUE L’UTILISANT
(JA) 微小電気機械素子およびこれを用いた電気機械スイッチ
Abrégé : front page image
(EN)This invention provides a microelectromechanical element, which has a long-service life and highly reliable hydrophobic surface structure, and an electromechanical switch using the same. In the microelectromechanical element, the outermost surface of an electrode has a composite surface structure comprising a first region formed of a first material constituting the electrode and a second region formed of a second material having at least hydrophobicity. Physical compression to a monomolecular film can be avoided by adopting a composite surface structure composed of an electrode material and a monomolecular film as the surface structure. Further, when a structure in which the monomolecular film is not formed on a high-frequency signal propagation path is adopted, an increase in insertion loss and damage by electric field can be avoided.
(FR)La présente invention concerne un élément microélectromécanique, qui présente une longue durée de vie et comporte une structure de surface hydrophobe de haute fiabilité, et un commutateur électromécanique l'utilisant. Dans l’élément microélectromécanique, la surface la plus extérieure d’une électrode comporte une structure composite comprenant une première zone composée d’un premier matériau constituant l’électrode et une seconde zone composée d’un second matériau présentant au moins une hydrophobicité. La compression physique en une pellicule monomoléculaire peut être évitée en adoptant une structure de surface composée d’un matériau d’électrode et d’une pellicule monomoléculaire comme structure de surface. En outre, lorsqu’une structure dans laquelle la pellicule monomoléculaire n'est pas formée sur un chemin de propagation de signal à haute fréquence est adoptée, cela permet d’éviter l'augmentation de la perte d'insertion et les dommages causés par le champ électrique.
(JA) 長寿命で信頼性の高い疎水性表面構造の微小電気機械素子およびこれを用いた電気機械スイッチを提供する。  電極の最表面が、前記電極を構成する第1の材料からなる第1の領域と、少なくとも疎水性をもつ第2の材料から成る第2の領域との複合表面構造を有する。表面構造を電極材料と単分子膜との複合表面構造とすることで、単分子膜への物理的圧縮を回避する。また、単分子膜を高周波信号の伝搬経路上に形成しない構造とすることで、挿入損失の増大と電界による損傷を回避する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)