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1. (WO2007060385) APPAREIL DE RÉDUCTION DE PLASMA PAR MICRO-ONDES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/060385    N° de la demande internationale :    PCT/GB2006/003551
Date de publication : 31.05.2007 Date de dépôt international : 25.09.2006
CIB :
B01D 53/00 (2006.01), B01D 53/32 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : EDWARDS LIMITED [GB/GB]; Manor Royal, Crawley, West Sussex RH10 9LW (GB) (Tous Sauf US).
RADOIU, Marilena [RO/GB]; (GB) (US Seulement).
SMITH, James, Robert [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
SEELEY, Andrew, James [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : RADOIU, Marilena; (GB).
SMITH, James, Robert; (GB).
SEELEY, Andrew, James; (GB)
Mandataire : BOOTH, Andrew, Steven; Edwards Limited, Manor Royal, Crawley, West Sussex RH10 2LW (GB)
Données relatives à la priorité :
0523947.0 24.11.2005 GB
Titre (EN) MICROWAVE PLASMA ABATEMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RÉDUCTION DE PLASMA PAR MICRO-ONDES
Abrégé : front page image
(EN)In a method of operating a microwave plasma abatement apparatus comprising a microwave generator, and a gas chamber for receiving microwave energy from the microwave generator and within which a plasma is generated using the microwave energy, the amount of microwave energy that is not absorbed within the gas chamber is monitored, and the power of the microwave energy generated by the microwave generator is adjusted in dependence on the monitored microwave energy.
(FR)Dans un procédé d'exploitation d'un appareil de réduction de plasma par micro-ondes comprenant un générateur de micro-ondes et une chambre à gaz destinée à recevoir l'énergie micro-onde du générateur de micro-ondes et dans laquelle un plasma est généré à l'aide de l'énergie micro-onde, la quantité d'énergie micro-onde qui n'est pas absorbée dans la chambre à gaz est contrôlée, et la puissance de l'énergie micro-onde est réglée en fonction de l'énergie micro-onde contrôlée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)