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1. (WO2007058702) PROCEDES ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PIECE DE FABRICATION AVEC UN ELEMENT VAPOREUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/058702    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/036832
Date de publication : 24.05.2007 Date de dépôt international : 21.09.2006
CIB :
H01L 31/032 (2006.01), H01L 31/18 (2006.01), C23C 8/08 (2006.01)
Déposants : DAYSTAR TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 13 Corporate Drive, Halfmoon, NY 12065 (US) (Tous Sauf US).
ZWAAP, Robert, F. [US/US]; (US) (US Seulement).
BERENS, Troy [US/US]; (US) (US Seulement).
TUTTLE, John, R. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ZWAAP, Robert, F.; (US).
BERENS, Troy; (US).
TUTTLE, John, R.; (US)
Mandataire : PIETRANGELO, John; HESLIN ROTHENBERG FARLEY & MESITI P.C., 5 Columbia Circle, Albany, NY 12203 (US)
Données relatives à la priorité :
11/282,934 18.11.2005 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR TREATING A WORK PIECE WITH A VAPOROUS ELEMENT
(FR) PROCEDES ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PIECE DE FABRICATION AVEC UN ELEMENT VAPOREUX
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus for controlling and delivering a vaporous element or compound, for example, selenium or sulfur, from a solid source to a work piece are provided. The methods and apparatus may be used in photovoltaic cell manufacturing. The apparatus may comprise a treatment chamber, for example, a box furnace or a tube furnace. The chamber may include an inner enclosure, an outer enclosure, and heating sources capable of independent thermal control, for example, in compliance with a predetermined heating schedule. The apparatus include devices and mechanisms for isolating the treatment chambers from the ambient environment. The methods and apparatus may be adapted to control metalloid vapor delivery in photovoltaic cell processing, for example, the processing of CIGS and CIGSS photovoltaic cells.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil destinés à contrôler et à libérer un élément ou composé vaporeux, par exemple, du sélénium ou du soufre, d’une source solide à une pièce de fabrication. Les procédés et l’appareil peuvent être employés pour la fabrication de cellules photovoltaïques. L’appareil peut comprendre une chambre de traitement, par exemple, un four électrique ou un four à tubes. La chambre peut comprendre une enceinte interne, une enceinte externe et des sources de chaleur à contrôle thermique indépendant, par exemple conformément à un programme de chauffage prédéterminé. L’appareil comprend des dispositifs et mécanismes permettant l’isolement des chambres de traitement par rapport à l’environnement ambiant. Les procédés et l’appareil peuvent êtres conçus pour contrôler la libération de vapeurs métalloïdes au cours du traitement de cellules photovoltaïques, par exemple, le traitement de cellules photovoltaïques CIGS et CIGSS.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)