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1. (WO2007057673) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/057673    N° de la demande internationale :    PCT/GB2006/004275
Date de publication : 24.05.2007 Date de dépôt international : 16.11.2006
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.06.2007    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501, NL-5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
OTTENS, Joost, Jeroen [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
TEN KATE, Nicolaas [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KEMPER, Nicolaas, Rudolf [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
LEENDERS, Martinus, Hendrikus, Antonius [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
SMEULERS, Johannes, Petrus, Maria [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
BECKERS, Marcel [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
SHULEPOV, Sergel [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
RIEPEN, Michel [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
LEEMING, John, Gerard [GB/GB]; (GB) (MW only)
Inventeurs : OTTENS, Joost, Jeroen; (NL).
TEN KATE, Nicolaas; (NL).
KEMPER, Nicolaas, Rudolf; (NL).
LEENDERS, Martinus, Hendrikus, Antonius; (NL).
SMEULERS, Johannes, Petrus, Maria; (NL).
BECKERS, Marcel; (NL).
SHULEPOV, Sergel; (NL).
RIEPEN, Michel; (NL)
Mandataire : LEEMING, John, Gerard; J.A. Kemp & CO., 14 South Square, Gray's Inn, WC1R 5JJ (GB)
Données relatives à la priorité :
11/274,888 16.11.2005 US
11/391,683 29.03.2006 US
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A barrier member (10) is disclosed for use in immersion lithography. The barrier member comprises an extractor assembly (70) on a bottom surface configured to face the substrate (W) . The extractor assembly includes a plate (200) configured to split the space between a liquid removal device and the substrate in two such that a meniscus (310) is formed in an upper channel (220) between the liquid removal device and the plate and such that a meniscus (320) is formed in a lower channel (230) below the plate between the plate and the substrate.
(FR)La présente invention concerne un élément barrière destiné à être utilisé dans la lithographie par immersion. L’élément barrière comprend un ensemble extracteur sur une surface inférieure configuré pour faire face au substrat. L’ensemble extracteur comprend une plaque configurée pour diviser l’espace entre un dispositif d’enlèvement de liquide et le substrat en deux de sorte qu’un ménisque soit formé dans un canal supérieur entre le dispositif d’enlèvement de liquide et la plaque et en-dessous de la plaque entre la plaque et le substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)