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1. (WO2007056190) PROCEDE ET APPAREIL D'ALIMENTATION EN COURANT POUR ENFLAMMER ET ENTRETENIR UN PLASMA DANS UN GENERATEUR DE GAZ REACTIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/056190    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/043046
Date de publication : 18.05.2007 Date de dépôt international : 03.11.2006
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Wilmington, MA 01887 (US) (Tous Sauf US).
MILLNER, Alan [US/US]; (US) (US Seulement).
ALEXANDER, Thomas [US/US]; (US) (US Seulement).
BYSTRYAK, Ilya [IL/US]; (US) (US Seulement).
TRAN, Ken [US/US]; (US) (US Seulement).
JOSHI, Madhuwanti [IN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MILLNER, Alan; (US).
ALEXANDER, Thomas; (US).
BYSTRYAK, Ilya; (US).
TRAN, Ken; (US).
JOSHI, Madhuwanti; (US)
Mandataire : GERETY, Todd, A.; Proskauer Rose LLP, One International Place, Boston, MA 02110 (US)
Données relatives à la priorité :
11/268,692 07.11.2005 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS OF PROVIDING POWER TO IGNITE AND SUSTAIN A PLASMA IN A REACTIVE GAS GENERATOR
(FR) PROCEDE ET APPAREIL D'ALIMENTATION EN COURANT POUR ENFLAMMER ET ENTRETENIR UN PLASMA DANS UN GENERATEUR DE GAZ REACTIFS
Abrégé : front page image
(EN)According to a first aspect, a power supply and a method of providing power for igniting a plasma in a reactive gas generator is provided that includes (i) coupling a series resonant circuit (100) that comprises a resonant inductor (110) and a resonant capacitor (120) between a switching power source (60) and a transformer (30), the transformer having a transformer primary (32) and a plasma secondary (36); (ii) providing a substantially resonant AC voltage from the resonant capacitor across the transformer primary, thereby inducing a substantially resonant current within the transformer primary to generate the plasma secondary; and (iii) upon generation of the plasma secondary, the resonant inductor limiting current flowing to the switching power supply. According to another aspect, bipolar high voltage ignition electrodes can be used in conjunction with inductive energy coupling to aid in plasma ignition.
(FR)L'invention concerne, d'une part, une alimentation électrique et un procédé fournissant un courant pour enflammer un plasma dans un générateur de gaz réactif, ce procédé consistant à: (i) coupler un circuit résonant série comprenant un inducteur et un condensateur entre une source d'alimentation à commutation et un transformateur, le transformateur possédant un transformateur primaire et un plasma secondaire; (ii) générer une tension à courant alternatif sensiblement résonant depuis le condensateur dans le transformateur primaire, ce qui induit un courant sensiblement résonant dans celui-ci et génère le plasma secondaire; et (iii) lors de la génération du plasma secondaire, l'inducteur limite le courant s'écoulant vers l'alimentation en courant à commutation. L'invention concerne, d'autre part, des électrodes d'allumage haute tension bipolaire pouvant être utilisées conjointement avec le couplage d'énergie inductive pour faciliter l'allumage du plasma.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)