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1. (WO2007054858) AGENCEMENT INTEGRE DE CONDENSATEURS POUR DES VALEURS ULTRA ELEVEES DE CAPACITE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/054858    N° de la demande internationale :    PCT/IB2006/054063
Date de publication : 18.05.2007 Date de dépôt international : 02.11.2006
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : NXP B.V. [NL/NL]; High Tech Campus 60, NL-5656 AG Eindhoven (NL) (Tous Sauf US).
ROOZEBOOM, Freddy [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KLOOTWIJK, Johan, H. [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KEMMEREN, Antonius, L., A., M. [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
REEFMAN, Derk [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
VERHOEVEN, Johannes, F., C., M. [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : ROOZEBOOM, Freddy; (NL).
KLOOTWIJK, Johan, H.; (NL).
KEMMEREN, Antonius, L., A., M.; (NL).
REEFMAN, Derk; (NL).
VERHOEVEN, Johannes, F., C., M.; (NL)
Mandataire : PENNINGS, Johannes, F., M.; C/o Professor Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
05110488.3 08.11.2005 EP
Titre (EN) INTEGRATED CAPACITOR ARRANGEMENT FOR ULTRAHIGH CAPACITANCE VALUES
(FR) AGENCEMENT INTEGRE DE CONDENSATEURS POUR DES VALEURS ULTRA ELEVEES DE CAPACITE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to an electronic device (300) comprising at least one trench capacitor (302) that can also take the form of an inverse structure, a pillar capacitor. An alternating layer sequence (308) of at least two dielectric layers (312, 316) and at least two electrically conductive layers (314, 318) is provided in the trench capacitor or on the pillar capacitor, such that the at least two electrically conductive layers are electrically isolated from each other and from the substrate by respective ones of the at least two dielectric layers. A set of internal contact pads (332, 334, 340) is provided, and each internal contact pad is connected with a respective one of the electrically conductive layers or with the substrate. By providing an individual internal contact pad for each of the electrically conductive layers, a range of switching opportunities is opened up that allows tuning the specific capacitance of the capacitor to a desired value. The electronic device of the invention thus provides a flexible trench-capacitor manufacturing platform for a multitude of combinations of electrically conductive layers with each other, or, when multiple trenches are used, between electrically conductive layers of different trench capacitors. On-chip applications such as a charge-pump circuit or a DC-to-DC voltage converter are claimed that benefit from the ultra-high capacitance density and the high breakdown voltage that can be achieved with the electronic device of the invention.
(FR)La présente invention se rapporte à un composant électronique (300) comprenant au moins un condensateur en tranchée (302) qui peut prendre également la forme d'une structure inverse, un condensateur en colonne. Une séquence alternée de couches (308) d'au moins deux couches diélectriques (312, 316) et d'au moins deux couches électriquement conductrices (314, 318) est utilisée dans le condensateur en tranchée ou sur le condensateur en colonne, de sorte que les deux couches électriquement conductrices soient isolées électriquement l'une de l'autre et du substrat par l'une des deux couches diélectriques correspondantes. Un ensemble de plages de contact internes (332, 334, 340) est prévu et chaque plage de contact interne est reliée à une couche correpondante des couches électriquement conductrices ou au substrat. L'utilisation d'une plage de contact interne individuelle pour chacune des couches électriquement conductrices offre de multiples possibilités de commutation, ce qui permet l'accord de la capacité spécifique du condensateur à une valeur souhaitée. Le composant électronique de l'invention constitue ainsi une plate-forme flexible de fabrication de condensateurs en tranchées pour une multitude de combinaisons de couches électriquement conductrices, ou, lorsque des tranchées multiples sont utilisées, entre des couches électriquement conductrices de différents condensateurs en tranchées. L'invention concerne également des applications sur puce telles qu'une pompe à charge ou un convertisseur de tension continu-continu, lesquelles applications bénéficient de la densité de capacité ultra élevée et de la haute tension de claquage qui peuvent être obtenues avec le composant électronique de l'invention.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)