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1. (WO2007054377) PROCEDE DE SECHAGE DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/054377    N° de la demande internationale :    PCT/EP2006/061522
Date de publication : 18.05.2007 Date de dépôt international : 11.04.2006
CIB :
B08B 3/02 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Déposants : SEZ AG [AT/AT]; SEZ-Strasse 1, A-9500 Villach (AT) (Tous Sauf US).
KINOSHITA, Kei [JP/AT]; (AT) (US Seulement).
ENGESSER, Philipp [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : KINOSHITA, Kei; (AT).
ENGESSER, Philipp; (DE)
Mandataire : KONTRUS, Gerhard; SEZ AG, SEZ-Strasse 1, A-9500 Villach (AT)
Données relatives à la priorité :
A 831/2005 13.05.2005 AT
Titre (EN) METHOD FOR DRYING A SURFACE
(FR) PROCEDE DE SECHAGE DE SURFACE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a method for drying a surface of a disc-shaped article comprising covering said surface with a rinsing liquid, whereby a closed liquid layer (L) is formed, and removing said rinsing liquid, wherein said rinsing liquid containing at least 50wt.% water and at least 5wt.% of a substance, wherein the substance lowers the surface energy of water, wherein said removing of the liquid is initiated by blowing gas onto said closed liquid layer, whereby the closed liquid layer is opened at on discrete area (A) .
(FR)La présente invention concerne un procédé de séchage d'une surface d'un article en forme de disque, ce procédé consistant à recouvrir ladite surface d'un liquide de rinçage, la couche liquide (L) se trouvant ainsi fermée, puis à retirer ledit liquide de rinçage qui contient au moins 50 % en poids d'eau et au moins 5 % en poids d'une substance, ladite substance diminuant la tension superficielle de l'eau. Le retrait du liquide est provoqué par le soufflement d'un gaz sur ladite couche de liquide fermée qui s'ouvre ainsi sur une zone discrète (A).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)