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1. (WO2007053334) SOURCE DE LUMIERE ULTRAVIOLETTE EXTREME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2007/053334    N° de la demande internationale :    PCT/US2006/041102
Date de publication : 10.05.2007 Date de dépôt international : 20.10.2006
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; (A NEVADA CORPORATION), 17075 THORMMINT COURT, San Diego, CA 92127-2413 (US) (Tous Sauf US).
BOWERING, Norbert, R. [DE/US]; (US) (US Seulement).
HANSSON, Bjorn, A.m. [SE/SE]; (SE) (US Seulement).
SIMMONS, Rodney, D. [GB/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BOWERING, Norbert, R.; (US).
HANSSON, Bjorn, A.m.; (SE).
SIMMONS, Rodney, D.; (US)
Mandataire : CRAY, William, C.; CYMER, INC., LEGAL DEPT., MS/4-2C, 17075 THORMMINT COURT, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
60/733,658 05.11.2005 US
11/323,397 29.12.2005 US
Titre (EN) EUV LIGHT SOURCE
(FR) SOURCE DE LUMIERE ULTRAVIOLETTE EXTREME
Abrégé : front page image
(EN)An EUV light source and method of operating same is disclosed which may comprise: an EUV plasma production chamber comprising a chamber wall comprising an exit opening for the passage of produced EUV light focused to a focus point; a first EUV exit sleeve comprising a terminal end comprising an opening facing the exit opening; a first exit sleeve chamber housing the first exit sleeve and having an EUV light exit opening; a gas supply mechanism supplying gas under a pressure higher than the pressure within the plasma production chamber to the first exit sleeve chamber. The first exit sleeve may be tapered toward the terminal end opening, and may, e.g., be conical in shape comprising a narrowed end at the terminal end.
(FR)L’invention concerne une source de lumière ultraviolette extrême et son procédé de fonctionnement. La source de lumière ultraviolette extrême comprend : une enceinte génératrice de plasma ultraviolet extrême comportant une paroi d’enceinte pourvue d’une ouverture de sortie de la lumière ultraviolette extrême ainsi générée focalisée sur un foyer ; un premier manchon de sortie de lumière ultraviolette extrême comprenant une extrémité terminale comportant une ouverture disposée en regard de l’ouverture de sortie ; une enceinte de premier manchon de sortie abritant le premier manchon de sortie et pourvue d’une ouverture de sortie de lumière ultraviolette extrême ; un mécanisme d’alimentation en gaz alimentant l’enceinte de premier manchon de sortie en un gaz sous une pression supérieure à la pression au sein de l’enceinte génératrice de plasma. Le premier manchon de sortie peut s’effiler en direction de l’ouverture de l’extrémité terminale et peut, par exemple, présenter une forme conique comportant une extrémité rétrécie au niveau de l’extrémité terminale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)